[发明专利]工件传送装置及方法、工件贴合装置及方法

权利要求书

1.一种工件传送装置，其是单片式工件传送装置，用于接收在表面形成有功能部的大致矩形薄膜状的工件并对其进行保持，且向朝向下方的保持面移送而进行移交，该工件传送装置的特征在于，具备：

多个机械手部件，该多个机械手部件具有用于装卸自如地夹持所述工件中的至少一组对边的多个夹持部；

机械手驱动机构，其用于使所述多个机械手部件从所述工件的接收位置，经由所述工件的背面向与所述保持面交叉的方向分开配置的中间位置，朝向向与所述保持面交叉的方向越过所述保持面的延长平面地配置的移交位置移动；

所述保持面，其形成为比所述工件的尺寸小的大致矩形，且具有以所述工件的所述表面朝向下方的方式装卸自如地保持背面的中央部位的卡盘机构；及

控制部，其分别对所述多个夹持部的驱动源、所述机械手驱动机构及所述卡盘机构进行动作控制，

所述控制部以如下方式进行控制：在所述接收位置使所述多个夹持部朝向所述对边的夹持方向移动，且在所述多个夹持部已向夹持方向移动的状态下，使所述多个机械手部件从所述接收位置朝向所述中间位置移动，使所述工件中的至少所述一组对边从所述中间位置朝向所述移交位置移动而拉拽所述工件，在所述工件沿所述保持面整体绷紧的状态下利用所述卡盘机构对所述背面的所述中央部位进行保持，且在所述移交位置使所述多个夹持部朝向夹持解除方向移动。

2.根据权利要求1所述的工件传送装置，其特征在于，

所述卡盘机构为吸附卡盘。

3.一种工件传送方法，在工件传送方法中，在接收在表面形成有功能部的大致矩形薄膜状的工件并对其进行保持的状态下，直接向以比所述工件的尺寸小的大致矩形朝向下方地形成的保持面移送而进行移交，该工件传送方法的特征在于，包括：

夹持工序，在该夹持工序中，在接收位置利用多个机械手部件的夹持部分别对所述工件中的至少一组对边进行夹持；

第一移送工序，在该第一移送工序中，在利用多个所述夹持部夹持所述工件的至少所述一组对边的状态下，使所述多个机械手部件从所述接收位置朝向所述工件的背面向与所述保持面交叉的方向分开配置的中间位置移动；

第二移送工序，在该第二移送工序中，在利用所述夹持部夹持所述工件的至少所述一组对边的状态下，使所述多个机械手部件从所述中间位置朝向向与所述保持面交叉的方向越过所述保持面的延长平面地配置的移交位置移动而拉拽所述工件，且使所述工件的所述背面压接于所述保持面；及

夹持解除工序，在该夹持解除工序中，在利用所述保持面完成对所述工件的保持之后，在所述移交位置解除所述多个机械手部件的所述夹持部针对所述工件的至少所述一组对边的夹持，

在所述第二移送工序中，在随着所述工件的拉拽而所述工件沿所述保持面整体绷紧的状态下，利用所述保持面的卡盘机构，以所述工件的所述表面朝向下方的方式装卸自如地保持所述背面的中央部位。