[发明专利]工件传送装置及方法、工件贴合装置及方法

说明书

本发明的课题在于，与尺寸无关地直接在功能部绷紧的状态下将薄膜状工件向朝向下方的保持面均匀地移交。本发明提供一种工件传送装置，具备：多个机械手部件，其具有用于夹持工件的一组对边的多个夹持部；机械手驱动机构，其用于使机械手部件从工件的接收位置经由中间位置朝向向与保持面交叉的方向越过保持面的延长平面地配置的移交位置移动；及保持面，其具有用于保持工件的背面的中央部位的卡盘机构，且以如下方式进行控制：在接收位置使夹持部朝向对边的夹持方向移动，且使机械手部件从接收位置经由中间位置朝向移交位置移动而拉拽工件，在工件沿保持面整体绷紧的状态下利用卡盘机构对背面的中央部位进行保持。

技术领域

本发明涉及一种例如装卸自如地对柔性液晶显示器(LCD)、柔性有机EL显示器(OLED)等柔性显示器中使用的薄膜基板、平板显示器(FPD)中使用的覆盖膜等薄膜状工件进行保持而移送的工件传送装置及工件传送方法。

本发明涉及一种装入工件传送装置而将薄膜状工件彼此贴合，或者将薄膜状工件与玻璃基板等板状工件贴合的工件贴合装置及利用工件传送方法的工件贴合方法。

背景技术

以往，作为这种工件传送装置及工件贴合装置，存在如下对齐贴合装置，其具备对形成有CF图案的卷状薄膜进行支承的真空腔内的下工作台和供给形成有TFT图案的片状薄膜的薄片传送装置，且薄片传送装置具备向真空腔内的上工作台供给片状薄膜的供给机械手和使供给机械手移动的机械手驱动机构(例如，参阅专利文献1)。

专利文献1中，通过真空吸附方式，片状薄膜从供给机械手被吸附到上工作台，随着真空腔内的减压，将真空吸附方式切换为静电卡盘而对片状薄膜进行保持，在真空状态下使片状薄膜的TFT图案与卷状薄膜的CF图案对位之后，使上工作台朝向下工作台进行接近移动而将卷状薄膜与片状薄膜进行贴合。

详细而言，供给机械手具备对片状薄膜的周边部进行保持的框型保持部件和使气体流入被保持部件包围的空间的流入孔，保持部件中以规定间隔而设有多个抽吸孔，且将片状薄膜的周边部向框型保持部件吸附。吸附片状薄膜之后，气体从流入孔流入而使片状薄膜以其中心部凸出的方式挠曲，以使该片状薄膜与上工作台相对的方式使供给机械手反转。接着，使供给机械手朝向上工作台进行接近移动，片状薄膜从凸出的中心部开始朝向外周而吸附于上工作台。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009-265265号公报

发明内容

发明要解决的问题

这种以往的工件传送装置及工件贴合装置中，因气体的流入而鼓成凸状的片状薄膜从其中心部开始朝向外周被吸附到上工作台，由此，将片状薄膜以不产生褶皱的方式向上工作台的表面移交。

然而，基于气体的片状薄膜的鼓出形状很难反复控制成相同的形状，尤其将片状薄膜的尺寸大型化时，鼓出量也增大，因此控制变得非常困难，会因在腔内产生略微的气流变化等略微的变化因素而导致片状薄膜的鼓出形状局部松弛。因此，越将片状薄膜的尺寸大型化，则越在进行针对上工作台的表面的片状薄膜的移交时，存在在片状薄膜中容易产生褶皱，并且TFT图案等功能部与供给机械手接触等对TFT图案等功能部赋予不良影响的问题。

进而，为了可靠地使片状薄膜鼓出，需要将框型保持部件设为完全封闭的结构，因此若将片状薄膜的尺寸大型化，则随之，包含保持部件的供给机械手整体的重量会变得非常重。该情况下，还需要将使供给机械手移动的机械手驱动机构大型化，但其有界限，根据尺寸而也有可能无法传送片状薄膜。由此，存在尤其不适合大型显示器装置的制造中的问题。