[发明专利]工程机械薄膜压力变送器及制造方法在审
| 申请号： | 201810025115.4 | 申请日： | 2018-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN108225627A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 雷卫武 | 申请（专利权）人： | 北京中航兴盛测控技术有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/20 | 分类号： | G01L1/20;C23C14/46 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 102101 北京市延庆区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜压力 变送器 工程机械 制造 工作寿命长 敏感材料 电路板支架 高低温试验 混合电路板 离子束溅射 压力传感器 薄膜技术 部件组装 调理电路 光刻技术 敏感元件 原子沉积 引压嘴 传感器 溅射 壳体 焊接 加工 精密 疲劳 融合 | ||
1.一种工程机械薄膜压力变送器制造方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1.制造由信号调理电路(61)和保护电路(62)组成的混合电路板(6)；
S2.采用机械加工的方法制造下端外部具有外螺纹(11)、贯通中心的引压通孔(12)、安装有在所述引压通孔(12)下部的脉冲阻尼器(13)、上部加工有边凸台(14)和顶凸台(15)的引压嘴(1)；
S3.采用机械加工方法制造电路板支架(3)和壳体(4)；
S4.采用机械加工方法制造敏感元件(2)，利用离子束溅射技术和精密光刻技术在所述敏感元件(2)的上表面制造压力敏感电路(21)；
S5.将制造有压力敏感电路(21)的所述敏感元件(2)下部套合在所述引压嘴(1)的顶凸台(15)上并在接合处牢固密封焊接；
S6.将所述电路板支架(3)安装在所述敏感元件(2)的上部外缘台阶上并固定；
S7.将所述混合电路板(6)安装在所述电路板支架(3)上；
S8.通过内引线(8)将所述压力敏感电路(21)与所述混合电路板(6)连接；
S9.将所述壳体(4)安装在引压嘴(1)的边凸台(14)上并密封焊接；
S10.通过外引线(7)将混合电路板(6)与连接器(5)内部的连接针(9)下端连接；
S11.将所述连接器(5)与所述壳体(4)吻合并牢固密封焊接。
S12.将所述引压嘴(1)的外螺纹(11)与交变试验机连接，进行压力交变试验；
S13.将完成交变试验的产品放入高低温箱中进行高低温试验。
2.根据权利要求1所述的工程机械薄膜压力变送器，其特征在于，采用权利要求1所述的工程机械薄膜压力变送器制造方法制得。
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