[发明专利]工程机械薄膜压力变送器及制造方法

说明书

本发明公开了一种工程机械薄膜压力变送器及制造方法，制造方法包括制造混合电路板；加工引压嘴、电路板支架和壳体；利用离子束溅射技术和精密光刻技术加工敏感元件；将各部件组装焊接并进行疲劳和高低温试验形成工程机械薄膜压力变送器。由于采用了溅射薄膜技术制造压力传感器，敏感材料原子沉积在弹性体上，实现了敏感材料与弹性体的原子融合，使得传感器具有精度高、稳定性好、工作温度范围宽、可靠性高、工作寿命长的优点。结合混合调理电路技术，使薄膜压力变送器同样具有精度高、稳定性好、可靠性高、工作寿命长的优点。

技术领域

本发明涉及传感器技术领域，尤其涉及一种工程机械薄膜压力变送器及制造方法。

背景技术

工程机械工作状况较恶劣，对压力传感器的要求高。目前工程机械压力传感器主要使用的是滑动片在电阻板上滑动产生相应电阻值用以测量所受压力大小，主要问题是机械磨损大，精度低，使用寿命短，可靠性不高。

因此，开发一种精度高、工作寿命长、可靠性高的可适合工程机械使用的压力变送器极其重要。

溅射薄膜压力传感器是采用真空原子薄膜沉积技术，将绝缘材料、应变敏感材料等沉积在弹性体表面而形成的一种性能优良的压力传感器，它具有精度高、稳定性好、工作温度范围宽、可靠性高、工作寿命长等优点。利用溅射薄膜压力传感器和调理电路组合，制造高性能薄膜压力变送器，在工程机械领域应用，可以很好的解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于针对上述问题，提供一种工程机械薄膜压力变送器及制造方法，以实现精度高、稳定性好、工作温度范围宽、可靠性高、工作寿命长等优点。

为解决以上技术问题，本发明的技术方案是：一种工程机械薄膜压力变送器制造方法，包括以下步骤：

S1.制造由信号调理电路和保护电路组成的混合电路板；

S2.采用机械加工的方法制造下端外部具有外螺纹、贯通中心的引压通孔、安装有在所述引压通孔下部的脉冲阻尼器、上部加工有边凸台和顶凸台的引压嘴；

S3.采用机械加工方法制造电路板支架和壳体；

S4.采用机械加工方法制造敏感元件，利用离子束溅射技术和精密光刻技术在所述敏感元件的上表面制造压力敏感电路；

S5.将制造有压力敏感电路的所述敏感元件下部套合在所述引压嘴的顶凸台上并

在接合处牢固密封焊接；

S6.将所述电路板支架安装在所述敏感元件的上部外缘台阶上并固定；

S7.将所述混合电路板安装在所述电路板支架上；

S8.通过内引线将所述压力敏感电路与所述混合电路板连接；

S9.将所述壳体安装在引压嘴的边凸台上并密封焊接；

S10.通过外引线将混合电路板与连接器内部的连接针下端连接；

S11.将所述连接器与所述壳体吻合并牢固密封焊接。

S12.将所述引压嘴的外螺纹与交变试验机连接，进行压力交变试验；

S13.将完成交变试验的产品放入高低温箱中进行高低温试验。

优选的，所述的工程机械薄膜压力变送器采用上述方法制得。

与现有技术相比，本发明所具有的有益效果为：由于采用了溅射薄膜技术制造压力传感器，敏感材料原子沉积在弹性体上，实现了敏感材料与弹性体的原子融合，使得传感器具有精度高、稳定性好、工作温度范围宽、可靠性高、工作寿命长的优点。结合混合调理电路技术，使薄膜压力变送器同样具有精度高、稳定性好、可靠性高、工作寿命长的优点。