[发明专利]一种激光振镜的校正方法及校正装置

权利要求书

1.一种激光振镜的校正方法，其特征在于，包括步骤：

准备一高精度平台，并在所述高精度平台上设置有至少两个基片，每一所述基片上平整铺设有贴纸；

设置与基片匹配的激光振镜，并分别通过激光振镜发射激光并入射至基片上，并在贴纸上打出多个矩阵排布的小孔；

根据每一基片的矩阵排布的各小孔的预设位置，移动高精度平台，并通过相机获取每一小孔的位置误差值；

根据全部小孔的位置误差值，每一激光振镜均同时进行校正，直至全部激光振镜的位置误差值达到预设范围。

2.根据权利要求1所述的校正方法，其特征在于，包括步骤：

在所述高精度平台上设置有两个基片；

以及，设置双激光振镜，所述激光振镜分别与对应的基片匹配设置。

3.根据权利要求1或2所述的校正方法，其特征在于，还包括步骤：

将一小孔设置为校正起点；

以校正起点作为参考点，按次序采集每一小孔的位置；

获取每一小孔相对于校正起点的位置误差值。

4.根据权利要求3所述的校正方法，其特征在于，获取每一小孔位置误差值的步骤包括：

根据矩阵排布的各小孔的预设位置，移动高精度平台；

将所有小孔的位置误差值统计，并生成校正文件。

5.根据权利要求4所述的校正方法，其特征在于，还包括步骤：

所述校正文件还包括第一次通过相机获取每一小孔位置误差值后，获取的配置参数；

在下一次获取位置误差值操作前，先根据校正文件的配置参数进行相关参数配置，再进行获取位置误差值操作。

6.根据权利要求1或2所述的校正方法，其特征在于，所述校正方法包括步骤：

移动高精度平台，并移动至激光振镜的正下方；

调整激光振镜的高度，寻找激光焦点；

通过激光振镜将激光入射至基片上，并在贴纸上打出多个矩阵排布的小孔；

以及，移动高精度平台，并移动相机的正下方；

根据矩阵排布的各小孔的预设位置，微调高精度平台，通过相机获取每一小孔的位置误差值。

7.根据权利要求1或2所述的校正方法，其特征在于：所述基片为蓝宝石基片，所述贴纸为黑色3M纸。

8.一种激光振镜的校正装置，其特征在于，包括：

高精度平台，所述高精度平台包括一移动机构，并通过移动机构进行水平移动；

至少两个治具，所述治具均设置在高精度平台上；

基片，所述基片通过对应治具设置在高精度平台上，每一所述基片上平整铺设有贴纸；

至少两个激光振镜，所述基片在高精度平台的带动下移动至对应的激光振镜的下方，每一所述激光振镜分别将激光入射至对应的基片上，并在贴纸上打出多个矩阵排布的小孔；

至少两个相机，所述基片在高精度平台的带动下移动至对应相机的下方，并根据矩阵排布的各小孔的预设位置移动高精度平台，每一所述相机获取对应基片上的每一小孔的位置误差值；

至少两个升降机构，所述激光振镜和相机均设置在对应的升降机构上，并在升降机构带动下升降移动；

主控处理单元，所述主控处理单元分别与移动机构、激光振镜、相机和升降机构连接，并控制进行对应操作，以及根据全部小孔的位置误差值对激光振镜进行校正，直至位置误差值达到预设范围。

9.根据权利要求8所述的校正装置，其特征在于：所述校正装置包括两治具，每一所述治具上均设置有基片，所述激光振镜、相机、升降机构的数量与基片匹配。

10.根据权利要求8或9所述的校正装置，其特征在于：所述基片为蓝宝石基片，所述贴纸为黑色3M纸。