[发明专利]一种激光振镜的校正方法及校正装置

说明书

本发明涉及激光振镜的校正技术领域，具体涉及一种激光振镜的校正方法。包括步骤：准备一高精度平台，并在所述高精度平台上设置有至少两个基片，每一所述基片上平整铺设有贴纸；设置与基片匹配的激光振镜，并分别通过激光振镜发射激光并入射至基片上，并在贴纸上打出多个矩阵排布的小孔；根据每一基片的矩阵排布的各小孔的预设位置，移动高精度平台，并通过相机获取每一小孔的位置误差值；根据全部小孔的位置误差值，每一激光振镜均同时进行校正。本发明还涉及一种激光振镜的校正装置。使用高精度的运动平台和高分辨率CCD，实现自动连续采集位置信息，一次操作可以实现多次重复使用，既保证了校正精度，又大大缩短了校正所需时间。

技术领域

本发明涉及激光振镜的校正技术领域，具体涉及一种激光振镜的校正方法及校正装置。

背景技术

在使用振镜进行精密激光加工的过程中，经常需要对振镜加工精度提出苛刻要求，就需要对振镜进行高精度的校正，但是校正精度要求越高，校正所需的点间距就需要越小，导致需要采集的位置点数成倍增加，同时校正次数也需要增多，就会耗费大量的人工和时间。

特别是对于双振镜机台，则需要双倍的人工和时间，如果人工操作二次元手动操作完成一个机台校正，通常需要一整天的时间，这对于量产机台批量调试以及项目需要的快速响应是不允许的。

并且，振镜经常需要重新校正，因此开发一种基于机器视觉和高精度移动平台的自动校正装置及对应的校正方法，是本领域技术人员一直重点研究的问题之一。

发明内容

本发明要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种激光振镜的校正方法，提高校正效率，以及保证校正精度、准确性。

本发明要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种激光振镜的校正装置，提高校正效率，以及保证校正精度、准确性。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种激光振镜的校正方法，包括步骤：

准备一高精度平台，并在所述高精度平台上设置有至少两个基片，每一所述基片上平整铺设有贴纸；

设置与基片匹配的激光振镜，并分别通过激光振镜发射激光并入射至基片上，并在贴纸上打出多个矩阵排布的小孔；

根据每一基片的矩阵排布的各小孔的预设位置，移动高精度平台，并通过相机获取每一小孔的位置误差值；

根据全部小孔的位置误差值，每一激光振镜均同时进行校正，直至全部激光振镜的位置误差值达到预设范围。

其中，较佳方案是，包括步骤：

在所述高精度平台上设置有两个基片；

以及，设置双激光振镜，所述激光振镜分别与对应的基片匹配设置。

其中，较佳方案是，还包括步骤：

将一小孔设置为校正起点；

以校正起点作为参考点，按次序采集每一小孔的位置；

获取每一小孔相对于校正起点的位置误差值。

其中，较佳方案是，获取每一小孔位置误差值的步骤包括：

根据矩阵排布的各小孔的预设位置，移动高精度平台；

将所有小孔的位置误差值统计，并生成校正文件。

其中，较佳方案是，还包括步骤：

所述校正文件还包括第一次通过相机获取每一小孔位置误差值后，获取的配置参数；

在下一次获取位置误差值操作前，先根据校正文件的配置参数进行相关参数配置，再进行获取位置误差值操作。