[发明专利]等离子体源

权利要求书

1.一种等离子体源，其特征在于包括：

室，呈箱状，具有用于将在内侧生成的离子或电子向外辐射的开口部；

气体导入部，通过贯通所述室的周壁的供给通道，将气体导入所述室内；

连接器，设置在所述周壁的与所述开口部相对的位置上；

天线，基端部与所述连接器连接，在所述室内朝向所述开口部延伸；

第一绝缘体部，覆盖所述天线的位于所述室内的前端部侧的第一部位；

第二绝缘体部，覆盖所述天线的位于所述室内的所述基端部侧的第二部位；以及

导体部，覆盖所述第二部位而不覆盖所述第一部位。

2.根据权利要求1所述的等离子体源，其特征在于，

所述连接器具有：

长的销；

保持部，由绝缘体形成，保持所述销的长边方向的中央部；以及

筒状部，由导电性材料形成为圆筒状，在外壁上设置有阳螺纹部，并且在内侧配置所述销，

所述导体部为筒状，在内壁上设置有与所述阳螺纹部螺纹连接的阴螺纹部。

3.根据权利要求1或2所述的等离子体源，其特征在于，

所述连接器在与连接所述天线的一侧的相反侧上连接有同轴电缆，

所述第二部位和所述导体部之间的阻抗与所述同轴电缆的内部导体和外部导体之间的阻抗相等。

4.根据权利要求1或2所述的等离子体源，其特征在于，所述第一绝缘体部具有沿所述天线的长边方向排列的多个副绝缘体部。

5.根据权利要求1或2所述的等离子体源，其特征在于，所述等离子体源还包括嵌合构件，所述嵌合构件嵌入所述供给通道，并且所述嵌合构件具有从所述气体导入部吸入气体的吸入口、以及排出所吸入的所述气体的排出口，

以从所述室的内侧、面对所述供给通道的第一方向观察时，所述排出口和所述吸入口彼此向与所述第一方向垂直的第二方向错开。

6.根据权利要求4所述的等离子体源，其特征在于，所述等离子体源还包括嵌合构件，所述嵌合构件嵌入所述供给通道，并且所述嵌合构件具有从所述气体导入部吸入气体的吸入口、以及排出所吸入的所述气体的排出口，

以从所述室的内侧、面对所述供给通道的第一方向观察时，所述排出口和所述吸入口彼此向与所述第一方向垂直的第二方向错开。