[发明专利]承载盘

权利要求书

1.一种承载盘，适用于承载基板；其特征在于：

所述承载盘包含转轴、承载顶面，及挡液环面，所述转轴能被带动而使所述承载盘旋转，所述承载顶面用于承载所述基板并具有环形外端缘，所述挡液环面环绕于所述承载顶面外周围并具有环形上端缘，及由所述环形上端缘朝下延伸且朝外的面部，所述环形上端缘沿纵向的高度低于所述环形外端缘的高度且两者相间隔第一距离，所述环形上端缘沿垂直于所述纵向的横向位于所述环形外端缘外侧且两者相间隔第二距离，所述承载盘界定出位于所述环形外端缘与所述环形上端缘之间且环绕于所述承载顶面外周围的环形凹槽，所述第一距离的大小是大于0毫米且小于或等于0.7毫米范围之间的任一数值。

2.根据权利要求1所述的承载盘，其特征在于：还界定出与所述环形凹槽相连通的排液流道。

3.根据权利要求1所述的承载盘，其特征在于：所述挡液环面的面部为由所述环形上端缘朝下并朝外倾斜延伸的锥形面部。

4.根据权利要求2所述的承载盘，其特征在于：所述挡液环面的面部为由所述环形上端缘朝下并朝外倾斜延伸的锥形面部。

5.根据权利要求1所述的承载盘，其特征在于：包含盘体，及设置于所述盘体外周围的挡液环，所述盘体具有所述承载顶面，所述挡液环具有所述挡液环面，所述盘体与所述挡液环共同界定出所述环形凹槽。

6.根据权利要求5所述的承载盘，其特征在于：所述盘体与所述挡液环还共同界定出与所述环形凹槽相连通的排液流道。

7.根据权利要求6所述的承载盘，其特征在于：所述挡液环面的面部为由所述环形上端缘朝下并朝外倾斜延伸的锥形面部。

8.根据权利要求7所述的承载盘，其特征在于：所述盘体包括顶壁，及围绕壁，所述顶壁具有所述承载顶面，及由所述环形外端缘朝下延伸的外周面，所述围绕壁由所述外周面底端朝下凸伸，所述挡液环具有底壁，及外周壁，所述底壁一体成型地由所述围绕壁径向朝外凸伸，所述外周壁由所述底壁外周缘朝上凸伸并与所述围绕壁相间隔且具有所述挡液环面，所述排液流道具有由所述围绕壁、所述底壁及所述外周壁共同界定出并与所述环形凹槽相连通的环形进液槽，及多个由所述挡液环面朝内凹陷并与所述环形进液槽相连通的排液孔。

9.根据权利要求8所述的承载盘，其特征在于：所述外周面为由所述环形外端缘朝下并朝内倾斜延伸的倒锥面，所述围绕壁具有围绕面，及由所述外周面底端径向朝外延伸且连接所述围绕面顶端的肩面。

10.根据权利要求7所述的承载盘，其特征在于：所述盘体包括顶壁、围绕壁，及承托壁，所述顶壁具有所述承载顶面，及由所述环形外端缘朝下延伸的外周面，所述围绕壁由所述外周面底端朝下凸伸，所述承托壁由所述围绕壁径向朝外凸伸并呈环形状，所述挡液环具有下壁，及外周壁，所述下壁抵接于所述承托壁上，所述外周壁由所述下壁外周缘朝上凸伸并与所述围绕壁相间隔且具有所述挡液环面，所述排液流道具有由所述围绕壁、所述下壁及所述外周壁共同界定出并与所述环形凹槽相连通的环形进液槽，及多个由所述挡液环面朝内凹陷并与所述环形进液槽相连通的排液孔。

11.根据权利要求10所述的承载盘，其特征在于：所述外周面为由所述环形外端缘朝下并朝内倾斜延伸的倒锥面，所述围绕壁具有围绕面，及由所述外周面底端径向朝外延伸且连接所述围绕面顶端的肩面，所述承托壁由所述围绕面邻近底端处径向朝外凸伸。

12.根据权利要求10所述的承载盘，其特征在于：还包含用以将所述挡液环锁定于所述盘体的锁定单元。

13.根据权利要求12所述的承载盘，其特征在于：所述承托壁形成有多个定位孔，所述下壁形成有多个分别与所述定位孔相连通的穿孔，所述锁定单元包括多个锁定件，所述锁定件穿设于对应的穿孔并且固定地结合于对应的所述定位孔。