[发明专利]一种掩模板、显示基板以及显示装置

权利要求书

1.一种掩模板，其特征在于，包括基板、以及位于所述基板一侧且相对设置的第一曝光结构和第二曝光结构，其中：

所述第一曝光结构包括第一透光膜层和第一遮光膜层，所述第一遮光膜层在所述基板上的正投影落入所述第一透光膜层在所述基板上的正投影内；

所述第二曝光结构包括第二透光膜层和第二遮光膜层，所述第二遮光膜层在所述基板上的正投影落入所述第二透光膜层在所述基板上的正投影内；

所述第一曝光结构靠近所述第二曝光结构的侧边具有第一锯齿状结构，所述第二曝光结构靠近所述第一曝光结构的侧边具有第二锯齿状结构。

2.如权利要求1所述的掩模板，其特征在于，

所述第一透光膜层位于所述第一遮光膜层和所述基板之间，或所述第一遮光膜层位于所述第一透光膜层和所述基板之间；

所述第二透光膜层位于所述第二遮光膜层和所述基板之间，或所述第二遮光膜层位于所述第二透光膜层和所述基板之间。

3.如权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述第一锯齿状结构仅形成于所述第一透光膜层，所述第二锯齿状结构仅形成于所述第二透光膜层。

4.如权利要求3所述的掩模板，其特征在于，所述第一遮光膜层靠近所述第二曝光结构的侧边在所述基板上的正投影线重合于所述第一锯齿状结构的齿根线在所述基板上的正投影线，所述第二遮光膜层靠近所述第一曝光结构的侧边在所述基板上的正投影重合于所述第二锯齿状结构的齿根线在所述基板上的正投影线。

5.如权利要求3所述的掩模板，其特征在于，所述第一遮光膜层靠近所述第二曝光结构的侧边在所述基板上的正投影线与所述第一锯齿状结构的齿根线在所述基板上的正投影线相间隔，所述第二遮光膜层靠近所述第一曝光结构的侧边在所述基板上的正投影线与所述第二锯齿状结构的齿根线在所述基板上的正投影线相间隔。

6.如权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述第一锯齿状结构形成于所述第一透光膜层和所述第一遮光膜层靠近所述第二曝光结构的侧边，所述第二锯齿状结构形成于所述第二透光膜层和所述第二遮光膜层靠近所述第一曝光结构的侧边。

7.如权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述第一透光膜层的光透过率为3％～7％，所述第二透光膜层的光透过率为3％～7％。

8.如权利要求1所述的掩模板，其特征在于，

所述第一透光膜层包括不透光基材和透光掺杂颗粒，所述不透光基材包括钼、硅或铬中的至少两种，所述透光掺杂颗粒包括亚克力掺杂颗粒、聚碳酸酯类材料掺杂颗粒或聚苯乙烯类材料掺杂颗粒；

所述第二透光膜层包括不透光基材和透光掺杂颗粒，所述不透光基材包括钼、硅或铬中的至少两种，所述透光掺杂颗粒包括亚克力掺杂颗粒、聚碳酸酯类材料掺杂颗粒或聚苯乙烯类材料掺杂颗粒；

所述第一遮光膜层为铬膜层、钼膜层或钨膜层；

所述第二遮光膜层为铬膜层、钼膜层或钨膜层。

9.如权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述第一锯齿状结构包括多个第一锯齿单元，每个所述第一锯齿单元的齿边夹角为尖角；或者每个所述第一锯齿单元的齿边夹角具有圆倒角；

所述第二锯齿状结构包括多个第二锯齿单元，每个所述第二锯齿单元的齿边夹角为尖角；或者每个所述第二锯齿单元的齿边夹角具有圆倒角。

10.如权利要求9所述的掩模板，其特征在于，每个所述第一锯齿单元的齿边夹角为30°～60°；每个所述第二锯齿单元的齿边夹角为30°～60°。

11.如权利要求1～10任一项所述的掩模板，其特征在于，所述第一锯齿状结构的齿顶线与所述第二锯齿状结构的齿顶线之间的间距为1.8mm～2.2mm。

12.一种显示基板，其特征在于，应用如权利要求1～11任一项所述的掩模板形成。

13.一种显示装置，其特征在于，包括如权利要求12所述的显示基板。