[发明专利]分光器及分光器的制造方法有效
申请号: | 201810044170.8 | 申请日: | 2015-02-03 |
公开(公告)号: | CN108106727B | 公开(公告)日: | 2021-08-17 |
发明(设计)人: | 能野隆文;柴山胜己 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G01J3/02 | 分类号: | G01J3/02;G01J3/04 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 分光 制造 方法 | ||
1.一种分光器,其特征在于,
具备:
光检测单元,其安装有盖且设置有光通过部及光检测部;
支撑体,其以在与所述光通过部及所述光检测部之间形成空间的方式固定于所述光检测单元;
第1反射部,其设置于所述支撑体,且在所述空间中,将通过了所述光通过部的光反射;
第2反射部,其设置于所述光检测单元,且在所述空间中,将由所述第1反射部反射的光反射;以及
分光部,其设置于所述支撑体,且在所述空间中,将由所述第2反射部反射的光相对于所述光检测部进行分光并反射,
所述分光部设置于形成于所述支撑体的凹部的内面并且弯曲成凹状,
所述第1反射部在通过设置于所述光检测单元的所述光通过部的光的光轴方向上与设置于所述光检测单元的所述光通过部相对,
设置于所述光检测单元的所述第2反射部位于设置于所述光检测单元的所述光通过部和设置于所述光检测单元的所述光检测部之间,
通过所述第1反射部以及所述第2反射部,调整入射至所述分光部的光的入射方向、及该光的扩散至收敛状态。
2.如权利要求1所述的分光器,其特征在于,
所述光通过部、所述第1反射部、所述第2反射部、所述分光部及所述光检测部在自通过所述光通过部的光的光轴方向观察的情况下,沿基准线排列,
所述分光部具有沿所述基准线排列的多个光栅槽,
所述光检测部具有沿所述基准线排列的多个光检测通道。
3.如权利要求1或2所述的分光器,其特征在于,
所述第1反射部为平面镜。
4.如权利要求1或2所述的分光器,其特征在于,
所述第1反射部为凹面镜。
5.如权利要求1或2所述的分光器,其特征在于,
在所述光检测单元,设置有捕捉由所述分光部分光并反射的光中的0次光的0次光捕捉部。
6.如权利要求3所述的分光器,其特征在于,
在所述光检测单元,设置有捕捉由所述分光部分光并反射的光中的0次光的0次光捕捉部。
7.如权利要求4所述的分光器,其特征在于,
在所述光检测单元,设置有捕捉由所述分光部分光并反射的光中的0次光的0次光捕捉部。
8.如权利要求1或2所述的分光器,其特征在于,
在所述支撑体,设置有电连接于所述光检测部的配线,
所述配线上的所述光检测部侧的端部在所述光检测单元与所述支撑体的固定部上,连接于设置于所述光检测单元的端子。
9.如权利要求3所述的分光器,其特征在于,
在所述支撑体,设置有电连接于所述光检测部的配线,
所述配线上的所述光检测部侧的端部在所述光检测单元与所述支撑体的固定部上,连接于设置于所述光检测单元的端子。
10.如权利要求4所述的分光器,其特征在于,
在所述支撑体,设置有电连接于所述光检测部的配线,
所述配线上的所述光检测部侧的端部在所述光检测单元与所述支撑体的固定部上,连接于设置于所述光检测单元的端子。
11.如权利要求5所述的分光器,其特征在于,
在所述支撑体,设置有电连接于所述光检测部的配线,
所述配线上的所述光检测部侧的端部在所述光检测单元与所述支撑体的固定部上,连接于设置于所述光检测单元的端子。
12.如权利要求6所述的分光器,其特征在于,
在所述支撑体,设置有电连接于所述光检测部的配线,
所述配线上的所述光检测部侧的端部在所述光检测单元与所述支撑体的固定部上,连接于设置于所述光检测单元的端子。
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