[发明专利]分光器及分光器的制造方法

说明书

分光器(1A)具备：光检测元件(20)，其设置有光通过部(21)及光检测部(22)；支撑体(30)，其以在与光通过部(21)及光检测部(22)之间形成空间(S)的方式固定于光检测元件(20)；第1反射部(11)，其设置于支撑体(30)，且在空间(S)中，将通过光通过部(21)的光(L1)反射；第2反射部(12)，其设置于光检测元件(20)，且在空间(S)中，将由第1反射部(11)反射的光(L1)反射；以及分光部(40)，其设置于支撑体(30)，且在空间(S)中，将由第2反射部(12)反射的光(L1)相对于光检测部(22)进行分光并反射。

本申请是申请日为2015年2月3日、申请号为201580007240.7、发明名称为分光器及分光器的制造方法的专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种将光进行分光并检测的分光器、及分光器的制造方法。

背景技术

例如，在专利文献1中记载有一种分光器，其具备：光入射部；分光部，其将自光入射部入射的光进行分光并反射；光检测元件，其对由分光部进行分光并反射的光进行检测；以及箱状的支撑体，其支撑光入射部、分光部及光检测元件。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000-298066号公报

发明内容

发明所要解决的问题

对于如上所述的分光器而言，对应于用途的扩大而要求进一步的小型化。但是，分光器越是小型化，则越会因各种原因而导致分光器的检测精度容易降低。

因此，本发明的目的在于提供一种可抑制检测精度的降低且可谋求小型化的分光器、及可容易地制造这样的分光器的分光器的制造方法。

解决问题的技术手段

本发明的一个方面的分光器具备：光检测元件，其设置有光通过部及光检测部；支撑体，其以在与光通过部及光检测部之间形成空间的方式固定于光检测元件；第1反射部，其设置于支撑体，且在空间中，将通过了光通过部的光反射；第2反射部，其设置于光检测元件，且在空间中，将由第1反射部反射的光反射；以及分光部，其设置于支撑体，且在空间中，将由第2反射部反射的光相对于光检测部进行分光并反射。

在该分光器中，在由光检测元件及支撑体所形成的空间内，形成有自光通过部至光检测部的光路。由此，可谋求分光器的小型化。再有，通过光通过部的光依序由第1反射部及第2反射部反射而入射至分光部。由此，容易调整入射至分光部的光的入射方向、及该光的扩散至收敛状态，因而即使使自分光部至光检测部的光路长度变短，也可将由分光部进行分光的光精度良好地聚光于光检测部的规定位置。由此，根据该分光器，可抑制检测精度的降低且可谋求小型化。

在本发明的一个方面的分光器中，也可为光通过部、第1反射部、第2反射部、分光部及光检测部在自通过光通过部的光的光轴方向观察的情况下，沿基准线排列，分光部具有沿基准线排列的多个光栅槽，光检测部具有沿基准线排列的多个光检测通道。根据该构成，可使由分光部进行分光的光更精度良好地聚光于光检测部的各光检测通道。

在本发明的一个方面的分光器中，第1反射部也可为平面镜。根据该构成，通过使通过光通过部的光的入射NA变小且设为“具有与通过光通过部的光所具有的扩散角相同的扩散角的光的光路长度、即自光通过部至分光部的光路长度”＞“自分光部至光检测部的光路长度”」(缩小光学系统)，从而可提高由分光部进行分光的光的分辨率。