[发明专利]真空室活动片架在线测温系统在审
| 申请号： | 201810044332.8 | 申请日： | 2018-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN108181020A | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 陶翔;金浩;王德苗;李东滨;秦正春;冯斌 | 申请（专利权）人： | 浙江大学昆山创新中心 |
| 主分类号： | G01K7/02 | 分类号： | G01K7/02 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215347 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 活动片 真空室 在线测温系统 无线无源传感器 信号处理装置 传感器阵列 传统热电偶 测量系统 测温系统 传输天线 磁控溅射 声表面波 室内传输 天线连接 温度分布 在线测量 片架 室外 测量 陈列 室内 大片 | ||
【权利要求书】：
1.真空室活动片架在线测温系统，其特征在于：包括分布在片架一侧边的声表面波无线无源传感器，安装于真空室内远离磁控溅射区的传输天线，以及安装在真空室外与真空室内传输天线连接的信号处理装置，所述声表面波无线无源传感器和以及信号处理装置均和传输天线无线连接。
2.根据权利要求1所述的真空室活动片架在线测温系统，其特征在于：所述声表面波无线无源传感器的数量为若干个，呈竖直阵列排布，其排布方向与片架的运动方向垂直。
3.根据权利要求1所述的真空室活动片架在线测温系统，其特征在于：声表面波无线无源传感器阵列具有编码功能。
4.根据权利要求1所述的真空室活动片架在线测温系统，其特征在于：所述传输天线形式为偶极子、单极子、螺旋、贴片等形式中的一种。
5.根据权利要求1所述的真空室活动片架在线测温系统，其特征在于：所述信号处理装置为射频读取器，包括射频收发模块、信号处理模块与检测结果显示模块。
6.根据权利要求1所述的真空室活动片架在线测温系统，其特征在于：所述声表面波无线无源传感器包括声表面波器件和集成天线，声表面波器件为SAW-RFID器件，具有编码功能，集成天线为偶极子天线，声表面波器件与集成天线电连接。
7.根据权利要求6所述的真空室活动片架在线测温系统，其特征在于：声表面波器件用绝缘材料进行封装。
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