[发明专利]真空室活动片架在线测温系统

说明书

本发明公开了一种真空室活动片架在线测温系统，包括分布在片架一侧边的声表面波无线无源传感器陈列，安装于真空室内远离磁控溅射区的传输天线，以及安装在真空室外与真空室内传输天线连接的信号处理装置。本发明的真空室活动片架测温系统，解决了传统热电偶测量系统无法在线测量活动片架温度的问题，同时采用传感器阵列解决了大片架在不同区域温度分布不均而无法全面测量的问题。

技术领域

本发明属于真空镀膜领域，具体涉及一种真空室活动片架在线测温系统。

背景技术

传统真空系统内片架台测温采用铠甲封装的热电偶形式，此时若采用热电偶接触片架台测量，可以获得更准确的片架台温度，但是限制片架台运动；若采用热电偶悬空片架台测量，则获得的片架台温度并不准确。其次，单个热电偶单个点测量片架台的温度无法准确代表整个片架台的温度分布，若采用多个热电偶则有布线过于复杂的问题。

发明内容

针对上述问题，本发明提出一种真空室活动片架在线测温系统，它可以获得详细的片架表面的温度分布情况，且可以对活动片架实现在线测温。

实现上述技术目的，达到上述技术效果，本发明通过以下技术方案实现：

真空室活动片架在线测温系统，包括分布在片架一侧边的声表面波无线无源传感器，安装于真空室内远离磁控溅射区的传输天线，以及安装在真空室外与真空室内传输天线连接的信号处理装置，所述声表面波无线无源传感器和以及信号处理装置均和传输天线无线连接。

进一步的，所述声表面波无线无源传感器的数量为若干个，呈竖直阵列排布，其排布方向与片架的运动方向垂直。

进一步的，所述声表面波无线无源传感器阵列具有编码功能。

进一步的，所述传输天线形式为偶极子、单极子、螺旋、贴片等形式中的一种。

进一步的，所述信号处理装置为射频读取器，包括射频收发模块、信号处理模块与检测结果显示模块。

进一步的，所述声表面波无线无源传感器包括声表面波器件和集成天线，声表面波器件为SAW-RFID器件，具有编码功能，集成天线为偶极子天线，声表面波器件与集成天线电连接。

进一步的，声表面波器件用绝缘材料进行封装。

本发明的有益效果：本发明的解决了传统热电偶测量系统无法在线测量活动片架温度的问题，同时采用传感器阵列解决了大片架在不同区域温度分布不均而而无法全面测量的问题。

附图说明

图1为本发明的一种实施例中真空室活动片架在线测温系统的片架前视图；

图2为本发明的结构示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

下面结合附图对本发明的应用原理作详细的描述。

如图1-图2所示，真空室活动片架在线测温系统，包括分布在片架1一侧边的声表面波无线无源传感器2，安装于真空室内远离磁控溅射区的传输天线，以及安装在真空室外与真空室内传输天线连接的信号处理装置，所述声表面波无线无源传感器和以及信号处理装置均和传输天线无线连接。

在本发明的一种实施例中，所述声表面波无线无源传感器2的数量为若干个，呈竖直阵列排布，其排布方向与片架1的运动方向垂直。

在本发明的一种实施例中，所述声表面波无线无源传感器阵列具有编码功能。。