[发明专利]一种硅片插片装置

说明书

本发明涉及一种硅片插片装置。市场上现有的插片机，其对硅片整形主要采用动态整形机构，通过气缸或者电机驱动的方式，使输送线两侧的整形板往中间收缩对硅片整形，这种整形方式容易对硅片边缘造成损伤，导致硅片不良率增加。本发明涉及一种硅片插片装置，其中：整形输送模组与硅片缓冲模组之间设有提升模组，整形输送模组、提升模组、硅片缓冲模组均安装于插片机机架，花篮置于提升模组上。本装置采用静态整形的方式，由电机带动同步带对硅片进行整形，并增加导向，有效减少整形过程中对硅片造成的损伤，减少不良率；同时，采用特殊结构的硅片缓冲模组，实现对硅片的高速插片同时，对硅片进行缓冲，使硅片不与花篮底部撞击，保证硅片的品质。

技术领域

本发明涉及硅片插片机技术领域，尤其是一种硅片插片装置。

背景技术

在硅片进行清洗的过程中，要对硅片进行插片，利于清洗，通常有人工插片与机械插片这两种方式。人工插片方式效率低、劳动强度大，插片效果差；机械插片方式采用插片机，使用自动机构插片，但市场上现有的插片机，其对硅片整形主要采用动态整形机构，通过气缸或者电机驱动的方式，使输送线两侧的整形板往中间收缩对硅片整形，这种整形方式容易对硅片边缘造成损伤，或者是硅片产生裂痕，导致硅片不良率增加，硅片生产效率降低；同时，现有的插片机在插片过程中高速输送的硅片容易与花篮底部撞击，对硅片造成损坏，同样地，增加了不良率，造成极大浪费。

发明内容

本发明的目的是提供一种硅片插片装置，为克服上述的不足，采用静态整形的方式，由电机带动同步带对硅片进行整形，并增加导向，有效减少整形过程中对硅片造成的损伤，减少不良率；同时，采用特殊结构的硅片缓冲模组，实现对硅片的高速插片，同时对硅片进行缓冲，使硅片不与花篮底部撞击，保证硅片的品质，提高插片速度，效率高。

为了解决上述问题，本发明是通过以下技术方案实现的：

一种硅片插片装置，包括整形输送模组、提升模组、花篮、插片机机架、硅片缓冲模组；其中：整形输送模组与硅片缓冲模组之间设有提升模组，整形输送模组、提升模组、硅片缓冲模组均安装于插片机机架，花篮置于提升模组上。

一种硅片插片装置，所述整形输送模组包括底板、挡板安装板、马达座、缓冲块、第二支柱、第二步进电机、滑块滑轨、硅片整形机构、输送机构；其中：底板上左右两侧对称设有硅片整形机构，硅片整形机构通过第二支柱固定于底板，两个硅片整形机构之间设有滑块滑轨，滑块滑轨安装于底板上，滑块滑轨一端设有挡板安装板，挡板安装板安装于底板上，挡板安装板内侧安装有缓冲块，两个硅片整形机构之间设有输送机构，输送机构固定于底板上，底板底部设有第二步进电机，第二步进电机通过马达座固定于底板上。

一种硅片插片装置，所述硅片整形机构包括第一安装板、支撑板、旋转轴、第一从动轮、导向板、第一主动轮、支座、第二安装板、电机板、第一盖板、第一平带、保护罩、第一深沟球轴承、第一支柱、第一步进电机；其中：第一安装板上安装有支撑板，导向板通过支座固定于支撑板上，第二安装板通过第一支柱与支撑板连接，电机板固定于第二安装板上，第一步进电机安装于电机板上，第一步进电机外部安装装有保护罩、电第一步进电机内的输出轴与第一主动轮同轴连接、第一主动轮通过第一平带依次与三个第一从动轮连接，第一从动轮内安装有第一深沟球轴承，第一从动轮上端装有盖板，第一深沟球轴承通过旋转轴固定于支撑板上。