[发明专利]体声波谐振器有效
| 申请号： | 201810052173.6 | 申请日： | 2018-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN108429543B | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 李泰勋;丁大勋;林昶贤;金泰润;李文喆 | 申请（专利权）人： | 三星电机株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/05 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 汪喆;何巨 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 | ||
1.一种体声波谐振器，包括：
基板；
下电极连接构件，设置在所述基板上；
谐振构件，所述谐振构件包括：
下电极，设置在所述下电极连接构件上；
压电层，设置在所述下电极上；和
上电极，设置在所述压电层上；以及
上电极连接构件，将所述上电极和所述基板彼此电连接，
其中，所述上电极连接构件在所述谐振构件的外部从所述基板延伸并连接到所述上电极的顶表面，并且
其中，所述下电极连接构件将所述下电极和所述基板彼此电连接，并具有与所述谐振构件的形状对应的环形形状，从而支撑所述谐振构件的边缘。
2.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述下电极连接构件连接到所述下电极的底表面。
3.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述上电极连接构件包括：
锚构件，设置在所述基板上；
板构件，从所述锚构件延伸；以及
连接部，设置在所述上电极的所述顶表面上并连接到所述板构件。
4.根据权利要求3所述的体声波谐振器，其中，所述连接部设置在所述上电极的边缘的区域的部分上。
5.根据权利要求3所述的体声波谐振器，其中，所述连接部设置在所述上电极的边缘的整个区域上。
6.根据权利要求3所述的体声波谐振器，其中，
所述上电极具有比所述压电层的尺寸小的尺寸，并且
所述连接部连接到所述上电极的边缘的区域的部分并具有与所述谐振构件的所述形状对应的环形形状。
7.根据权利要求1所述的体声波谐振器，所述体声波谐振器还包括：
反射层，设置在所述基板的顶表面上，
其中，所述下电极连接构件和所述上电极连接构件设置在所述反射层上。
8.根据权利要求1所述的体声波谐振器，所述体声波谐振器还包括覆盖腔的膜层。
9.一种体声波谐振器，包括：
基板；
下电极连接构件，设置在所述基板上；
谐振构件，所述谐振构件包括：
下电极，设置在所述下电极连接构件上；
压电层，设置在所述下电极上；和
上电极，设置在所述压电层上；以及
上电极连接构件，将所述上电极和所述基板彼此电连接，
其中，所述下电极连接构件将所述下电极和所述基板彼此电连接并在所述谐振构件和所述基板之间形成腔，
其中，所述下电极连接构件支撑所述谐振构件的中央部，并且
其中，所述上电极连接构件在所述谐振构件的外部从所述基板延伸并连接到所述上电极的顶表面。
10.根据权利要求9所述的体声波谐振器，其中，所述下电极连接构件包括：基部，设置在所述基板上；以及支撑部，从所述基部延伸并连接到所述下电极的底表面。
11.根据权利要求10所述的体声波谐振器，其中，所述支撑部设置在所述下电极的中央部上。
12.根据权利要求9所述的体声波谐振器，其中，所述上电极连接构件连接到所述上电极的中央部。
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