[发明专利]缺陷修补方法、显示面板在审
申请号: | 201810054284.0 | 申请日: | 2018-01-19 |
公开(公告)号: | CN108231669A | 公开(公告)日: | 2018-06-29 |
发明(设计)人: | 彭英;李俊峰 | 申请(专利权)人: | 昆山国显光电有限公司 |
主分类号: | H01L21/768 | 分类号: | H01L21/768;H01L27/12 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 智云 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 修补 交叉区域 显示面板 跳线 缺陷修补 切割 上层结构层 导电性能 电性连接 短路 跨层 预留 | ||
本发明提供了一种缺陷修补方法、显示面板。由于形成在上层结构层中的第二导线上预留有修补跳线,从而当第一导线和第二导线的交叉区域中产生有缺陷时,即可通过切割第二导线在交叉区域和修补跳线之间的部分,以克服第一导线和第二导线出现跨层短路的缺陷,同时利用修补跳线实现切割后的位于交叉区域两侧的第二导线相互电性连接,进而确保第二导线的导电性能。可见,本发明提供的修补方法的操作难度低易于实现,能够使修补后的显示面板的性能符合要求。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,特别涉及一种缺陷修补方法及一种显示面板。
背景技术
在显示面板的制备过程中,常常会因为制造工艺或环境等因素导致所形成的显示面板中产生有缺陷的问题。因此,在显示面板的制备过程中,还需结合缺陷检测和缺陷修补工艺,以对所制备出的显示面板进行检测,并对产生有缺陷的区域进行修补,以尽量减少产品的报废量。
其中,针对形成在不同结构层中的两条导线而言,当在两条导线的空间交叉的区域中产生缺陷时,常常由于无法修复而直接以报废处理。具体参考图1a和图1b所示,其中图1a为两条形成在不同结构层上且在空间上相互交叉的导线,图1b为图1a所示的两条形成在不同结构层上且空间上相互交叉的导线沿着aa’方向的剖面示意图。如图1a和图1b所示,第一导线11和第二导线12在空间上相互交叉,即第一导线11和第二导线12在高度方向上的投影相互交叉。当在两条导线的交叉区域10A中存在有缺陷时,所述缺陷例如为位于第一导线11和第二导线12之间的导电颗粒,此时必然会导致第一导线11和第二导线12之间出现跨层短路的问题;或者,所述缺陷例如为第一导线11和第二导线12之间的隔离层存在破洞,此时在形成第二导线12时相应的也会在所述破洞中填充第二导线的材料,从而会使第一导线11和第二导线12搭接短路。这些都将直接导致所形成的显示面板的性能异常,例如会导致所形成的显示面板出现亮线或线缺陷的问题。
如上所述,针对不同结构层中的导线在交叉区域产生跨层短路的缺陷时,其修复难度较大甚至无法修复,而对于产生有这类缺陷的产品,通常是直接以报废处理,这也将直接造成资源的浪费和成本的增加。因此,如何对上述缺陷进行修复以减少产品的报废量尤为重要。
发明内容
本发明的目的在于提供一种缺陷修补方法,以解决现有的修补方法针对跨层导线在交叉区域中的缺陷的修补难度较大甚至无法修补的问题。
为解决上述技术问题,本发明提供一种缺陷修补方法,包括:
提供一基底,在所述基底上形成有第一导线和第二导线,所述第二导线位于所述第一导线上方的结构层中,且所述第一导线和所述第二导线在所述基底上的投影相互交叉而具备一交叉区域,在所述第二导线对应所述交叉区域的两侧上分别设置有与所述第二导线连接的修补跳线;
当所述交叉区域中存在有缺陷时,切断所述第二导线中在所述交叉区域和所述修补跳线之间的部分,并电性连接位于所述交叉区域两侧的所述修补跳线。
可选的,位于所述交叉区域两侧的所述修补跳线通过一连接线实现电性连接,所述连接线通过化学气相沉积修复形成。
可选的,所述修补跳线的宽度尺寸和所述第二导线的宽度尺寸的绝对差值小于等于1μm,以及所述连接线的宽度尺寸和所述第二导线的宽度尺寸的绝对差值小于等于1μm。
可选的,利用激光切割工艺切断所述第二导线中位于所述交叉区域和所述修补跳线之间的部分。
可选的,在所述第一导线和所述第二导线之间还形成有一隔离层,在所述隔离层对应所述交叉区域的部分中形成有缺陷,使所述第一导线在对应所述交叉区域的部分和所述第二导线在对应所述交叉区域的部分相互连接。
可选的,所述第二导线和所述修补跳线的形成方法包括:
在所述基底上沉积一导电材料层,并在所述导电材料层上形成一图形化的掩膜层,所述掩膜层中对应有所述第二导线的图形和所述修补跳线的图形;
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