[发明专利]蒸镀方法及蒸镀设备

权利要求书

1.一种蒸镀方法，用于蒸镀玻璃基板，其特征在于，包括如下步骤：

根据所述玻璃基板的结构预设蒸镀路径信息；

交替投送具有不同结构的所述玻璃基板；

依次识别交替投送的所述玻璃基板；

按照所述蒸镀路径信息分别对各所述玻璃基板进行蒸镀。

2.根据权利要求1所述的蒸镀方法，其特征在于，根据所述玻璃基板的结构预设蒸镀路径信息的步骤之后还包括：存储所述蒸镀路径信息。

3.根据权利要求2所述的蒸镀方法，其特征在于，存储所述蒸镀路径信息的步骤包括：按照所述玻璃基板的工艺程序ID进行存储。

4.根据权利要求3所述的蒸镀方法，其特征在于，依次识别交替投送的所述玻璃基板的步骤包括：通过所述玻璃基板的工艺程序ID识别所述玻璃基板。

5.根据权利要求2所述的蒸镀方法，其特征在于，存储所述蒸镀路径信息的步骤包括：将所述蒸镀路径信息存储于用于蒸镀所述玻璃基板的控制系统中。

6.根据权利要求5所述的蒸镀方法，其特征在于，按照所述蒸镀路径信息分别对各所述玻璃基板进行蒸镀的步骤包括：采用所述控制系统调整所述玻璃基板的蒸镀时间与投送速度。

7.根据权利要求1所述的蒸镀方法，其特征在于，按照所述蒸镀路径信息分别对各所述玻璃基板进行蒸镀的步骤包括：采用机械手将所述玻璃基板按照所述蒸镀路径分别投入或取出对应的蒸镀腔体。

8.根据权利要求1所述的蒸镀方法，其特征在于，根据所述玻璃基板的结构预设蒸镀路径信息的步骤之后还包括：按照所述蒸镀路径信息在所述玻璃基板的蒸镀腔室内对应放置掩膜板。

9.一种蒸镀设备，其特征在于，包括多个相互串联的蒸镀装置，每一所述蒸镀装置包括传送机构与蒸镀机构，所述传送机构采用权利要求1至8中任一项所述的蒸镀方法实现，用于将所述玻璃基板投送于所述蒸镀机构中进行蒸镀。

10.根据权利要求9所述的蒸镀设备，其特征在于，每一所述蒸镀装置还包括控制总机，所述控制总机与传送机构通信连接。