[发明专利]蒸镀方法及蒸镀设备

说明书

本发明涉及一种蒸镀设备及蒸镀方法。所述蒸镀设备包括多个相互串联的蒸镀装置，每一所述蒸镀装置包括传送机构与蒸镀机构，所述传送机构采用所述蒸镀方法用于将所述玻璃基板投送于所述蒸镀机构中进行蒸镀。其中，所述蒸镀方法，用于蒸镀玻璃基板，包括如下步骤：根据所述玻璃基板的结构预设蒸镀路径信息；交替投送具有不同结构的所述玻璃基板；依次识别交替投送的所述玻璃基板；按照所述蒸镀路径信息分别对各所述玻璃基板进行蒸镀。所述蒸镀设备通过所述蒸镀方法实现同时蒸镀两种不同产品类型的玻璃基板。

技术领域

本发明涉及基板蒸镀技术领域，特别是涉及一种蒸镀方法及蒸镀设备。

背景技术

真空蒸镀技术是当前量产小尺寸OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)制程的核心技术之一，不同产品类型的玻璃OLED器件结构使用不同的蒸镀材料和工艺。有些不同产品类型的玻璃器件结构是相同的，即所用的蒸镀材料和蒸镀工艺都相同，只是OLED蒸镀制程过程所使用的MASK(掩膜板)不相同。

当某一产品类型玻璃OLED配套的MASK较少时，若进行2in1(同时使用两个蒸镀腔完成对位和蒸镀)生产此型号玻璃，由于MASK清洗不及时或MASK出现异常因素等，容易导致MASK供应不上致使蒸镀空白时间增加甚至是产线停产，因此量产时只能1in1(只使用一个蒸镀子腔完成对位和蒸镀)生产。然而，使用1in1量产时，每个蒸镀腔只使用一个子腔，完成对位和蒸镀过程，设备稼动率较低，整体节拍较慢。并且蒸镀前对位大约需要15-30秒时间，玻璃传入和传出需要大约10-20秒，以及蒸镀腔蒸镀节拍不一致导致的蒸发源空白等待的时间，这些时间内蒸发源材料在空烧，造成蒸镀材料的浪费，降低了材料的利用率，增加了生产成本。而若重新开模制作MASK，无疑增大了投入成本。

针对此，可加入器件结构相同的另一种产品类型玻璃转为2in1生产。然而由于目前蒸镀控制系统的局限性，若只使用一条蒸镀线是不能对两种不同产品类型基板进行同时蒸镀。

现有技术中，有时依据生产供应要求，需要两种型号玻璃出货。因此只能优先生产其中一种产品类型玻璃，再对蒸镀腔体进行降温、更换挡板、清洁腔体和添加材料，这期间需要花费的时间大约为1-3天，之后重新升温量产另一个产品类型的玻璃。这个过程延长了生产周期，降低了生产效率。也就是说，由于当前蒸镀控制系统的局限性，量产时使用一条蒸镀线不能同时生产两种产品类型的玻璃，导致增加了生产时间，降低了生产效率。

发明内容

基于此，有必要针对现有技术中蒸镀方式的局限性，导致无法通过使用一条蒸镀线对两种不同产品类型的玻璃基板进行同时蒸镀的问题，提供一种可实现同时蒸镀两种不同产品类型的玻璃基板的蒸镀方法及蒸镀设备。

一种蒸镀方法，用于蒸镀玻璃基板，包括如下步骤：

根据所述玻璃基板的结构预设蒸镀路径信息；

交替投送具有不同结构的所述玻璃基板；

依次识别交替投送的所述玻璃基板；

按照所述蒸镀路径信息分别对各所述玻璃基板进行蒸镀。

在其中一个实施例中，根据所述玻璃基板的结构预设蒸镀路径信息的步骤之后还包括：存储所述蒸镀路径信息。

在其中一个实施例中，存储所述蒸镀路径信息的步骤包括：按照所述玻璃基板的工艺程序ID进行存储。

在其中一个实施例中，依次识别交替投送的所述玻璃基板的步骤包括：通过所述玻璃基板的工艺程序ID识别所述玻璃基板。

在其中一个实施例中，存储所述蒸镀路径信息的步骤包括：将所述蒸镀路径信息存储于用于蒸镀所述玻璃基板的控制系统中。

在其中一个实施例中，按照所述蒸镀路径信息分别对各所述玻璃基板进行蒸镀的步骤包括：采用所述控制系统调整所述玻璃基板的蒸镀时间与投送速度。