[发明专利]一种基于DMD的光刻机3D灰度图像曝光优化方法

权利要求书

1.一种基于DMD的光刻机3D灰度图像曝光优化方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：

（1）对图形数据进行灰度图像预处理，得到待处理的数据；

（2）根据公式B = (((J+N-1)/N) + T-1)/(T)，确定合适的线程数和线程块的数量；其中，B表示线程块的数量，J表示待处理的数据的字节数，N表示每个线程处理的字节数，T表示线程数；

（3）将待处理的数据进行分段处理；

（31）对每一段数据进行CUDA压缩，将压缩后的数据存储在CUDA的共享内存SM1中；

（32）将各线程块中共享内存SM1中的数据拷贝到全局内存GM1中；

（33）记录每个线程压缩后的数据大小K，同时将数据保存在共享内存SM2中；

（34）将各线程块中共享内存SM2中的数据拷贝到全局内存GM2中；

（4）将分段处理后的数据进行重组，抽去无效数据；

步骤（31）中，采用逐像素压缩算法对每一段数据进行CUDA压缩，所述逐像素压缩算法为：每个线程依次读取分段数据中的每一字节数据，按像素压缩数据，依次比较像素对连续存储的像素进行计数，当计数值大于最大值时，重新计数统计，直到没有数据。