[发明专利]一种用于晶圆外延衬底材料生长的托舟结构

权利要求书

1.一种用于晶圆外延衬底材料生长的托舟结构，包括支撑底座和托舟，其特征在于，所述托舟为具有上表面和下表面的圆环形板，托舟的边缘设有分别与上表面和下表面连接的斜面，托舟设在支撑底座的上表面，上表面、下表面和斜面位于不同的高度上；

所述支撑底座的上表面设有定位凸台，托舟的上表面和下表面分别设有与定位凸台匹配的定位凹槽；所述定位凸台的呈锥形、圆柱形或多边形，定位凹槽的形状与定位凸台的形状一致；

所述支撑底座上部设有支撑托，该支撑托具有主支撑面和倾斜支撑面，主支撑面设在倾斜支撑面上端，定位凸台设在主支撑面上，托舟放置在主支撑面的表面。

2.根据权利要求1所述的用于晶圆外延衬底材料生长的托舟结构，其特征在于，所述主支撑面与倾斜支撑面之间形成的夹角的角度为3-25度。

3.根据权利要求2所述的用于晶圆外延衬底材料生长的托舟结构，其特征在于，所述斜面的倾斜角度与倾斜支撑面的倾斜角度相等。

4.根据权利要求3所述的用于晶圆外延衬底材料生长的托舟结构，其特征在于，所述托舟横截面的面积大于主支撑面的面积。

5.根据权利要求4所述的用于晶圆外延衬底材料生长的托舟结构，其特征在于，所述支撑底座和托舟均采用碳化硅、蓝宝石、石墨或石英材料制成。