[发明专利]一种供液系统及晶圆清洗装置在审
| 申请号： | 201810069968.8 | 申请日： | 2018-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN108361553A | 公开（公告）日： | 2018-08-03 |
| 发明（设计）人： | 王超;张弢;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/12 | 分类号： | F17D1/12;F17D3/01;F17D3/18;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 201200 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 第二检测 调节装置 供液管道 气体管道 清洗液 晶圆清洗装置 供液系统 检测结果 控制指令 增压气体 增压装置 半导体制造技术 实时流量控制 手动调节阀 电机驱动 检测装置 结果产生 控制装置 人工操作 人力资源 使用寿命 输出 检测 气压 分析 | ||
1.一种供液系统，应用于晶圆清洗装置中，其特征在于，所述供液系统包括：
供液管道，用于输送清洗液；
增压装置，设置于所述供液管道上，所述增压装置还连接一气体管道并使用气体管道输送的增压气体为所述清洗液增压；
第一检测装置，于所述增压装置的下游设置于所述供液管道上，所述第一检测装置用于检测所述清洗液的流量并输出第一检测结果；
第二检测装置，设置于所述气体管道上，所述第二检测装置用于检测所述增压气体的气压并输出第二检测结果；
调节装置，于所述增压装置和所述第二检测装置之间设置于所述气体管道上；
控制装置，连接所述第一检测装置、第二检测装置和所述调节装置，所述控制装置用于分析所述第一检测结果和所述第二检测结果产生一控制指令至所述调节装置；
所述调节装置用于根据所述控制指令调节所述增压气体的流量。
2.如权利要求1所述的供液系统，其特征在于，所述调节装置包括：
手动调节阀，设置于所述气体管道上，所述手动调节阀具有一调节旋钮；
驱动装置，连接所述控制装置，所述驱动装置包括一输出轴，所述输出轴连接所述调节旋钮；
所述驱动装置用于根据所述控制指令驱动所述调节旋钮转动，以调节所述增压气体的流量。
3.如权利要求2所述的供液系统，其特征在于，所述驱动装置为步进电机。
4.如权利要求1所述的供液系统，其特征在于，所述第一检测装置为液体流量计。
5.如权利要求4所述的供液系统，其特征在于，还包括第一模数转换装置，所述控制装置通过所述第一模数转换装置连接所述液体流量计；
所述第一模数转换装置用于将所述液体流量计输出的所述第一检测结果转换成数字信号。
6.如权利要求1所述的供液系统，其特征在于，所述第二检测装置为气体压力计。
7.如权利要求6所述的供液系统，其特征在于，还包括第二模数转换装置，所述控制装置通过所述第二模数转换装置连接所述气体压力计；
所述第二模数转换装置用于将所述气体压力计输出的所述第二检测结果转换成数字信号。
8.如权利要求1所述的供液系统，其特征在于，所述增压气体为氮气。
9.如权利要求1所述的供液系统，其特征在于，所述清洗液为去离子水。
10.一种晶圆清洗装置，其特征在于，包括如权利要求1-9中任意一项所述的供液系统。
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