[发明专利]一种基板固定载具、蒸镀设备及蒸镀方法有效
| 申请号： | 201810074497.X | 申请日： | 2018-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN108203812B | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 刘锦东;范超龙;刘乐;杨小翠 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 11274 北京中博世达专利商标代理有限公司 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸镀基板 冷却板 蒸镀 支撑框架 中空区域 基板固定 载具 支撑 相向移动 蒸镀设备 长方形结构 长边 短边 良率 内壁 | ||
1.一种基板固定载具，其特征在于，包括支撑框架和位于所述支撑框架上方的冷却板，所述支撑框架中部具有中空区域，所述支撑框架对应于所述中空区域的内壁上设置有支撑部；所述冷却板与所述支撑框架可相向移动，所述冷却板与所述支撑框架相向移动时，所述冷却板落入所述中空区域内，且所述冷却板的边缘与所述支撑部相对；
对待蒸镀基板蒸镀时，待蒸镀基板位于所述中空区域内，待蒸镀基板的边缘位于所述支撑部上，待蒸镀基板呈长方形结构，所述冷却板对应于待蒸镀基板的长边的边缘与对应的所述支撑部之间的间距大于或等于待蒸镀基板的厚度，所述冷却板对应于待蒸镀基板的短边的边缘与对应的所述支撑部之间的间距小于待蒸镀基板的厚度。
2.根据权利要求1所述的基板固定载具，其特征在于，
所述冷却板对应于待蒸镀基板的长边的边缘与对应的所述支撑部之间的间距G1为：其中，DGlass为待蒸镀基板的厚度；
所述冷却板对应于待蒸镀基板的短边的边缘与对应的所述支撑部之间的间距G2为：
3.根据权利要求2所述的基板固定载具，其特征在于，
所述冷却板对应于待蒸镀基板的长边的边缘与对应的所述支撑部之间的间距G1为：
所述冷却板对应于待蒸镀基板的短边的边缘与对应的所述支撑部之间的间距G2为：
4.根据权利要求3所述的基板固定载具，其特征在于，待蒸镀基板的厚度为0.5mm，所述冷却板对应于待蒸镀基板的长边的边缘与对应的所述支撑部之间的间距G1为0.6mm～0.7mm，所述冷却板对应于待蒸镀基板的短边的边缘与对应的所述支撑部之间的间距G2为0.25mm～0.3mm。
5.根据权利要求4所述的基板固定载具，其特征在于，所述冷却板对应于待蒸镀基板的长边的边缘与对应的所述支撑部之间的间距G1为0.7mm，所述冷却板对应于待蒸镀基板的短边的边缘与对应的所述支撑部之间的间距G2为0.3mm。
6.一种蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备包括如权利要求1～5任一所述的基板固定载具。
7.根据权利要求6所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备还包括掩膜版载具，所述掩膜版载具位于所述基板固定载具的下方，所述掩膜版载具用于承载掩膜版。
8.一种应用于如权利要求6～7任一所述的蒸镀设备的蒸镀方法，其特征在于，包括：
将待蒸镀基板放置在基板固定载具中支撑框架的中空区域内，待蒸镀基板的边缘位于所述支撑框架上对应的支撑部上；
使所述基板固定载具中支撑框架与冷却板相向移动，所述冷却板对应于待蒸镀基板的长边的边缘与对应的所述支撑部之间的间距大于或等于待蒸镀基板的厚度，所述冷却板对应于待蒸镀基板的短边的边缘与对应的所述支撑部之间的间距小于待蒸镀基板的厚度。
9.根据权利要求8所述的蒸镀方法，其特征在于，所述蒸镀方法还包括：
将掩膜版安装在掩膜版载具上。
10.根据权利要求9所述的蒸镀方法，其特征在于，所述蒸镀方法还包括：
对待蒸镀基板与掩膜版进行对位。
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