[发明专利]对位检测方法及显示装置有效
申请号: | 201810076250.1 | 申请日: | 2018-01-26 |
公开(公告)号: | CN108132558B | 公开(公告)日: | 2020-08-25 |
发明(设计)人: | 陈运金 | 申请(专利权)人: | 福州京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/1333 | 分类号: | G02F1/1333;G02F1/1339 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人: | 张京波;曲鹏 |
地址: | 350300 福建省*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 对位 检测 方法 显示装置 | ||
1.一种对位检测方法,用于叠加设置的第一基板和第二基板的对位,其特征在于,所述检测方法包括:
提供至少一组分别设置在所述第一基板和第二基板上相对设置的第一标记区域和第二标记区域,所述第一标记区域内设有多个间隔设置的第一对位标记,所述第二标记区域内设有多个间隔设置的第二对位标记,所述第一对位标记之间的间距与所述第二对位标记之间的间距不同;所述第一标记区域与所述第二标记区域的相对设置形成至少两组相对设置的第一对位标记和第二对位标记;
检测所述第一对位标记在所述第一基板上的垂直投影与所述第二对位标记在所述第二基板上的垂直投影的重合度,选取重合度最高的一组第一对位标记和第二对位标记;
所述选取重合度最高的一组第一对位标记和第二对位标记的方法包括:
通过光学检测仪检测所述第一对位标记在所述第一基板上的垂直投影与所述第二对位标记在所述第二基板上的垂直投影重叠部分的灰度值;并将检测的灰度值进行对比,选取灰度值最高的一组第一对位标记和第二对位标记,灰度值最高的第一对位标记和第二对位标记为重合度最高的第一对位标记和第二对位标记;
判断重合度最高的第一对位标记和第二对位标记的灰度值是否在[x-b,x+a]范围内,进而判断所述第一基板和所述第二基板对位精准度;其中,x为:所述第一基板和所述第二基板对位无偏差时,重合度最高的第一对位标记和第二对位标记的灰度值;a为:当所述第一基板和所述第二基板的对位误差不影响产品的品质时,重合度最高的第一对位标记和第二对位标记的灰度值中极大值与x的差值,b为:当所述第一基板和所述第二基板的对位误差不影响产品的品质时,重合度最高的第一对位标记和第二对位标记的灰度值中极小值与x的差值。
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