[发明专利]掩膜版组件

说明书

本发明提供一种掩膜版，包括掩膜承载框和固定连接于掩膜承载框的掩膜，所述掩膜承载框包括相对设置的第一支撑板和第二支撑板，所述第一支撑板包括朝向第二支撑板的第一连接面，所述第二支撑板包括朝向第一连接面的第二连接面，所述掩膜呈夹角连接于所述第一连接面和第二连接面，所述第一连接面和第二连接面与所述掩膜的夹角为钝角。本发明还提供一种掩膜版组件，用于对位贴合玻璃基板和掩膜，包括上述掩膜版和基台，所述基台表面设置有多个间隔排列的第一顶针和第二顶针，所述掩膜版位于多个所述第二顶针上，多个所述第一顶针以支撑所述玻璃基板且使玻璃基板位于掩膜版正下方，所述掩膜版的第一连接面和第二连接面用于推使玻璃基板与掩膜对位。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种掩膜版组件。

背景技术

随着时代的发展，消费者对显示面板的质量要求越加严苛，人们开始追求更宽的显示视角、更短的响应时间以及更加轻薄的自身重量。正是在人们的需求不断提高的形势下，有机发光二极管面板(AMOLED，Active-Matrix Organic Light Emitting Diode)以其自发光、广视角、广色域以及反应时间短等优点受到了国内外显示领域技术人员的青睐。

在AMOLED的制备过程中，往往需要采用等离子体化学沉积法(PECVD，PlasmaEnhanced Chemical Vapor Deposition)在衬底基板上成膜以形成缓冲层、栅极绝缘层、介电层、钝化层以及薄膜封装层等。当对AMOLED进行薄膜封装时，需要使用掩膜版对沉膜区域进行限制。要使得掩膜版的开口区域与设计的沉膜区域完全吻合，目前比较成熟的对位系统都是采用十字标记对位，即在玻璃和掩膜版上都有相应的标记，标记的对位效果即可反应玻璃与掩膜版的对位精准程度，而这种对位系统需要在下电极穿孔，并安装监控系统，这不仅要求足够的空间，机台的成本也相应提高，难以在小型的实验机台上实现。目前的小型机台上，普遍采用物理对位系统，即采用定位销来实现对位，然而，这种对位机构的对位精度不够，极易产生沉膜偏移现象。

发明内容

本发明的目的在于提供一种掩膜版，提高沉膜时的对位精度，减少沉膜偏移现象。

本发明还提供一种掩膜版组件，用于使玻璃基板和掩膜版准确对位贴合。

本发明所述掩膜版，包括掩膜承载框和固定连接于所述掩膜承载框的掩膜，所述掩膜承载框包括相对设置的第一支撑板和第二支撑板，所述第一支撑板包括朝向所述第二支撑板的第一连接面，所述第二支撑板包括朝向所述第一连接面的第二连接面，所述掩膜呈夹角连接于所述第一连接面和所述第二连接面，并且所述第一连接面和所述第二连接面与所述掩膜的夹角为钝角。

其中，所述掩膜包括相对设置的第一端和第二端，所述掩膜的第一端固定连接于所述第一连接面，所述掩膜的第二端固定连接于所述第二连接面。

其中，所述支撑件包括连接所述第一支撑板和所述第二支撑板的第三支撑板和第四支撑板，所述第三支撑板包括朝向所述第四支撑板的第三连接面，所述第四支撑板包括朝向所述第三连接面的第四连接面，所述掩膜呈夹角连接于所述第三连接面和所述第四连接面，并且所述第三连接面和所述第四连接面与所述掩膜的夹角为钝角。

其中，所述掩膜包括连接所述第一端和所述第二端的第三端和第四端，所述第三端与所述第四端相对设置，所述掩膜的第三端固定连接于所述第三连接面，所述掩膜的第四端固定连接于所述第四连接面。

其中，所述第一支撑板、第二支撑板、第三支撑板和第四支撑板一体成型。

其中，所述掩膜承载框和所述掩膜由金属材料制成。

本发明所述掩膜版组件，用于对位贴合玻璃基板和掩膜，包括上述掩膜版、玻璃基板和基台，所述基台表面设置有多个间隔排列的第一顶针和第二顶针，所述掩膜版位于多个所述第二顶针上，多个所述第一顶针用于支撑所述玻璃基板且使所述玻璃基板位于所述掩膜版正下方，所述掩膜版的第一连接面和第二连接面用于推使所述玻璃基板与所述掩膜对位。