[发明专利]基板处理装置

权利要求书

1.一种基板处理装置，其中，具备：

基板保持单元，保持基板；

第一喷嘴，向由所述基板保持单元保持的基板喷出处理液；

容器，贮存向所述第一喷嘴供给的处理液；

循环配管，使所述容器内的处理液循环；

送液装置，向所述循环配管输送所述容器内的处理液；

过滤器，从流经所述循环配管的处理液去除异物；

共用配管，从所述循环配管向第一分支部引导所述循环配管内的处理液；

第一供给配管，以使处理液从所述第一分支部向所述第一喷嘴流动的方式常开，从所述第一分支部向所述第一喷嘴引导由所述共用配管引导的处理液；

第一返回配管，从所述第一分支部向所述容器引导由所述共用配管引导的处理液；

第一压力损失规定单元，以所述第一供给配管内的压力损失大于所述第一返回配管内的压力损失的方式规定压力损失；以及

第一喷出阀，在第一喷出执行状态和第一喷出停止状态之间进行切换，所述第一喷出执行状态是通过减少所述第一返回配管的流路面积，使所述第一返回配管内的压力损失大于所述第一供给配管内的压力损失，以使所述共用配管内的处理液从所述共用配管向所述第一供给配管流动的状态，所述第一喷出停止状态是通过相比所述第一喷出执行状态时的所述第一返回配管的流路面积增加所述第一返回配管的流路面积，使所述第一返回配管内的压力损失小于所述第一供给配管内的压力损失，以使所述共用配管内的处理液从所述共用配管向所述第一返回配管流动的状态，

所述送液装置在所述基板保持单元上未保持基板且所述第一喷出阀处于所述第一喷出停止状态的期间，也将所述容器内的处理液输送到所述循环配管，使所述循环配管内的处理液经由所述共用配管和第一分支部向所述第一返回配管流动。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

所述第一压力损失规定单元包括上升部、缩小部和节流构件中的至少一个，

所述上升部是所述第一供给配管的一部分，并且，向处理液的流动的下游侧并向上方延伸；

所述缩小部是所述第一供给配管的一部分，并且，朝向处理液的流动的下游而变细；

所述节流构件设置有使处理液通过的至少一个贯通孔，所述节流构件设置于所述第一供给配管。

3.根据权利要求2所述的基板处理装置，其中，

所述第一压力损失规定单元包括电动阀，所述电动阀设置有：阀主体，形成使处理液流动的内部流路；阀芯，配置在所述内部流路内；以及电动致动器，使所述阀芯静止于任意的位置。

4.一种基板处理装置，其中，具备：

基板保持单元，保持基板；

第一喷嘴，向由所述基板保持单元保持的基板喷出处理液；

送液装置，输送向由所述基板保持单元保持的基板供给的处理液；

共用配管，向第一分支部引导由所述送液装置输送的处理液；

第一供给配管，以使处理液从所述第一分支部向所述第一喷嘴流动的方式常开，从所述第一分支部向所述第一喷嘴引导由所述共用配管引导的处理液；

第一返回配管，沿与所述第一供给配管不同的路径从所述第一分支部引导由所述共用配管引导的处理液；

第一压力损失规定单元，以所述第一供给配管内的压力损失大于所述第一返回配管内的压力损失的方式规定压力损失；以及

第一喷出阀，在第一喷出执行状态和第一喷出停止状态之间进行切换，所述第一喷出执行状态是通过减少所述第一返回配管的流路面积，使所述第一返回配管内的压力损失大于所述第一供给配管内的压力损失，以使所述共用配管内的处理液从所述共用配管向所述第一供给配管流动的状态，所述第一喷出停止状态是通过相比所述第一喷出执行状态时的所述第一返回配管的流路面积增加所述第一返回配管的流路面积，使所述第一返回配管内的压力损失小于所述第一供给配管内的压力损失，以使所述共用配管内的处理液从所述共用配管向所述第一返回配管流动的状态，

所述第一压力损失规定单元包括上升部、缩小部和节流构件中的至少一个，

所述上升部是所述第一供给配管的一部分，并且，向处理液的流动的下游侧并向上方延伸；

所述缩小部是所述第一供给配管的一部分，并且，朝向处理液的流动的下游而变细；

所述节流构件设置有使处理液通过的至少一个贯通孔，所述节流构件设置于所述第一供给配管。