[发明专利]半导体装置在审

专利信息
申请号: 201810082595.8 申请日: 2018-01-29
公开(公告)号: CN109509739A 公开(公告)日: 2019-03-22
发明(设计)人: 岩津泰德 申请(专利权)人: 株式会社东芝;东芝电子元件及存储装置株式会社
主分类号: H01L23/58 分类号: H01L23/58
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 牛玉婷
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 半导体区域 半导体装置 导电型 栅极电极 电极 栅极绝缘层 导通电阻 方向交叉
【权利要求书】:

1.一种半导体装置,其中,具备:

第1半导体区域;

第1导电型的第2半导体区域,设在上述第1半导体区域的一部分之上;

第2导电型的第3半导体区域,设在上述第2半导体区域的一部分之上;

第2导电型的第4半导体区域,设在上述第1半导体区域的另一部分之上,具有第1部分和第2部分,上述第1部分和上述第2半导体区域在与从上述第1半导体区域朝向上述第2半导体区域的第1方向交叉的第2方向上排列,上述第2部分位于上述第3半导体区域的上方;

栅极电极,隔着栅极绝缘层设在上述第2半导体区域的另一部分、上述第3半导体区域的一部分及上述第1部分之上;

第1电极,设在上述第3半导体区域的另一部分之上,与上述第3半导体区域电连接;以及

第2电极,设在上述第2部分之上,与上述第4半导体区域电连接。

2.如权利要求1所述的半导体装置,其中,

还具备:

第1导电型的第5半导体区域,设在上述第2部分之上;以及

第1绝缘部,设在上述栅极电极之上,

上述第5半导体区域中的第1导电型的载流子浓度比上述第2部分中的第1导电型的载流子浓度高;

上述第5半导体区域与上述第1绝缘部在上述第2方向上排列。

3.如权利要求1或2所述的半导体装置,其中,

还具备在上述第2方向上被设置在上述栅极电极与上述第2部分之间的第2绝缘部;

上述第2绝缘部的上述第2方向上的长度比上述栅极绝缘层的上述第1方向上的长度长。

4.如权利要求3所述的半导体装置,其中,

上述第2绝缘部的下端弯曲。

5.如权利要求1或2所述的半导体装置,其中,

上述栅极电极的上述第1方向上的长度比上述栅极电极的上述第2方向上的长度长。

6.如权利要求1或2所述的半导体装置,其中,

上述栅极电极在上述第2方向上位于上述第1电极与上述第2部分之间。

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