[发明专利]一种陶瓷基体CH4传感器在审
| 申请号： | 201810084969.X | 申请日： | 2018-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN108318566A | 公开（公告）日： | 2018-07-24 |
| 发明（设计）人： | 李军良;沈杰 | 申请（专利权）人： | 上海艾瓷传感科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/416 | 分类号： | G01N27/416 |
| 代理公司： | 上海天翔知识产权代理有限公司 31224 | 代理人： | 刘粉宝 |
| 地址： | 201613 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 敏感电路 支撑层 传感器 加热电路 敏感电极 陶瓷基体 敏感电极层 内置加热器 负极引线 环境因素 正极引线 耐腐蚀 耐高温 检测 | ||
【权利要求书】：
1.一种陶瓷基体CH4传感器，其特征在于，所述CH4传感器包括：
一敏感电路支撑层；
一设置在敏感电路支撑层下方的内加热电路支撑层，内加热电路支撑层内置加热器；
一设置在敏感电路支撑层上方的敏感电路层，敏感电路层由敏感电极层、敏感电极正极引线脚以及敏感电极负极引线脚组成。
2.根据权利要求1所述的一种陶瓷基体CH4传感器，其特征在于，所述敏感电极层为多孔氧化铝担载纳米氧化镓颗粒敏感电极层，厚度为1-500μm。
3.根据权利要求1所述的一种陶瓷基体CH4传感器，其特征在于，所述敏感电路支撑层由致密氧化铝陶瓷材料制成，厚度为100-500μm。
4.根据权利要求1所述的一种陶瓷基体CH4传感器，其特征在于，所述内加热电路支撑层由致密氧化铝陶瓷材料制成，厚度为10-500μm。
5.根据权利要求1所述的一种陶瓷基体CH4传感器，其特征在于，所述加热器为Pt加热电路，厚度均在5-50μm，Pt加热电路上设有Pt加热正极引线脚和Pt加热负极引线脚。
6.根据权利要求1所述的一种陶瓷基体CH4传感器，其特征在于，所述敏感电路层为Pt敏感电极引线电路。
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