[发明专利]一种陶瓷基体CH4传感器

说明书

本发明提供了一种陶瓷基体CH₄传感器，CH₄传感器包括一敏感电路支撑层；一设置在敏感电路支撑层下方的内加热电路支撑层，内加热电路支撑层内置加热器；一设置在敏感电路支撑层上方的敏感电路层，敏感电路层由敏感电极层、敏感电极正极引线脚以及敏感电极负极引线脚组成。本发明结构简单、具有耐高温及耐腐蚀等优点，且CH₄浓度的检测不受其他气体成分及流量等环境因素的影响。

技术领域

本发明涉及CH₄检测传感器，特别涉及一种陶瓷基体CH₄传感器。

背景技术

现有的CH₄检测传感器主要有电化学型传感器、红外型传感器和催化燃烧型传感器三种类型，其中电化学型CH₄传感器一般需要封装电解液不适用与高温CH₄的检测，容易受到CO等还原性气体的影响；接触燃烧式气体传感器灵敏度好、线性度好、稳定性强，不易受温度和湿度的影响；但在实际运用的时候，缺点也是非常明显：检测极限不好，低浓度下灵敏度较不高；红外型CH₄传感器，检测精度高，不需要氧的参与也能实现CH₄气体的检查，但不能对高温的CH₄气体进行在线检测，且价格昂贵。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种以致密氧化铝陶瓷为支撑层及绝缘层，以多孔氧化铝担载氧化镓为探测层的陶瓷基体CH₄传感器。

为达到上述目的，本发明的技术方案如下：

一种陶瓷基体CH₄传感器，所述CH₄传感器包括：

一敏感电路支撑层；

一设置在敏感电路支撑层下方的内加热电路支撑层，内加热电路支撑层内置加热器；

一设置在敏感电路支撑层上方的敏感电路层，敏感电路层由敏感电极层、敏感电极正极引线脚以及敏感电极负极引线脚组成。

在本发明的一个实施例中，所述敏感电极层为多孔氧化铝担载纳米氧化镓颗粒敏感电极层，厚度为1-500μm。

在本发明的一个实施例中，所述敏感电路支撑层由致密氧化铝陶瓷材料制成，厚度为100-500μm。

在本发明的一个实施例中，所述内加热电路支撑层由致密氧化铝陶瓷材料制成，厚度为10-500μm。

在本发明的一个实施例中，所述加热器为Pt加热电路，厚度均在5-50μm，Pt加热电路上设有Pt加热正极引线脚和Pt加热负极引线脚。

在本发明的一个实施例中，所述敏感电路层为Pt敏感电极引线电路。

通过上述技术方案，本发明的有益效果是：

本发明传感器整体结构采用一次共烧结成型，结构紧凑；采用氧化铝陶瓷基及加热器内置结构，传感器启动时间短，敏感区域温度均匀，陶瓷基传感器耐腐蚀性强，寿命长；采用纳米氧化镓颗粒作为敏感电极材料，对被测气体敏感性好，充分发挥了多孔氧化铝陶瓷结构稳定的特性来维持敏感电极的结构稳定性、多孔性，纳米氧化镓颗粒比表面积大，多被测气氛敏感度高，检测下限低。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明爆炸图；

图2为本发明剖视图；

图中数字和字母所表示的相应部件名称：