[发明专利]背照式图像传感器的制造方法

权利要求书

1.一种制造背照式图像传感器的方法，其特征在于，包括：

在基底上形成介质层，其中所述基底中具有金属布线层；

在所述介质层中形成沟槽；

在所述介质层和所述基底中形成通孔；以及

在所述通孔和所述沟槽中同时填充金属，其中在所述沟槽中填充的金属构成所述背照式图像传感器的金属栅格，在所述通孔中填充的金属用于将所述金属布线层与外部设备电连接。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：

在所述通孔的侧壁上形成绝缘层。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述绝缘层的材料为二氧化硅或氮化硅。

4.根据权利要求2或3所述的方法，其特征在于，还包括：

在所述绝缘层上形成阻挡层。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述阻挡层的材料选自Ti、Ta、Cr、TiW、TiN和TaN之一。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：

在所述通孔上形成衬垫。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述衬垫由金属制成。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述金属为铝、铜、钨、银或金。