[发明专利]洗除氧化钨的洗液及清洗附着有氧化钨生产工具的方法

权利要求书

1.一种洗除氧化钨的洗液，其特征在于，包括如下质量组成的组分：双氧水0.1%-3%，IA族金属氢氧化物0.1%-3%，氨水0.1%-3%，一元醇0.1-3%，余量为水，所有组份的质量百分量之和为100%。

2.根据权利要求1所述的洗除氧化钨的洗液，其特征在于，所述双氧水为质量浓度为20%-31%的水溶液。

3.根据权利要求1所述的洗除氧化钨的洗液，其特征在于，所述IA族金属氢氧化物为质量浓度为0.1%-3%的水溶液，所述的IA族金属金属氢氧化物为氢氧化钠、氢氧化钾或氢氧化锂。

4.根据权利要求1所述的洗除氧化钨的洗液，其特征在于，所述氨水的质量浓度为15%-30%。

5.根据权利要求1所述的洗除氧化钨的洗液，其特征在于，所述一元醇的总碳量不大于5。

6.根据权利要求1所述的洗除氧化钨的洗液，其特征在于，所述一元醇为甲醇、乙醇、丙醇、丁醇或戊醇。

7.一种采用权利要求1-6任一项所述的洗液清洗附着有氧化钨的生产工具的方法，包括如下过程：在设备清洗槽中按洗除氧化钨的洗液的质量组份配制洗清液并混合均匀，将待清洗的生产工具浸入清洗槽中5—10分钟，然后将生产工具置于清水槽或循环流动的清水中冲洗干净取出沥干或烘干水份。

8.根据权利要求7所述的清洗附着有氧化钨的生产工具的方法，所述清洗槽外部配有循环管路用于循环清洗槽内的清洗液。