[发明专利]洗除氧化钨的洗液及清洗附着有氧化钨生产工具的方法

说明书

本发明涉及化学洗液技术领域内洗除氧化钨的洗液及清洗附着有氧化钨生产工具的方法，本发明的洗除氧化钨的洗液，包括如下质量组成的组分：双氧水0.1%‑3%，IA族金属氢氧化物0.1%‑3%，氨水0.1%‑3%，一元醇0.1‑3%，余量为水，所有组份的质量百分量之和为100%。本发明的清洗液中，氧化钨于水中少量溶解生成钨酸，IA族金属的氢氧化物和氨水均能与钨酸反应生成钨酸盐或偏钨酸盐，通过此双物料反应，可以提高反应速度和效率。加入双氧水，可提高三氧化钨稳定性，避免三氧化钨转化为低价氧化钨，避免产生不溶解的副产物；加入一元醇，主要作用为表面活性剂，通过其羧基的极性，加快物质的溶解使得整个反应速度更快，最终可使此清洗液在常温下快速有效的去除三氧化钨附着污物。

技术领域

本发明涉及化学洗液技术领域，特别涉及一种能有效洗除生产用具上的三氧化钨附着污物的洗液。

背景技术

在半导体封装制造业，使用双氧水腐蚀去除钛钨金属层时，会生成黄色三氧化钨（也称为“氧化钨”）副产物。此三氧化钨粉末会附着在生产机台和工具上，造成工具的脏污，继而回粘到产品上造成产品品质不良。目前行业内常用的去除用具上三氧化钨的方法主要依靠人工擦拭的方法去除，但无法有效地清洁到机台管路区，槽体夹层区，工具死角区等，不但费时费力，而且清洁效果不佳。

化学去除三氧化钨的方法中主要有以下三种：

1. 酸清洗：三氧化钨不溶于除氢氟酸以外其他所有的无机酸。因为目前生产机台和工具上，有部分零件是石英，而石英与氢氟酸会发生化学反应，故无法使用氢氟酸去除。

2，碱清洗：三氧化钨易溶于热苛性碱溶液或氨溶液中。实际测试，氨溶液溶解24小时以上都无法完全溶解生产机台和工具上的三氧化钨。热苛性碱溶液亦须8小时左右才能完全去除三氧化钨。碱处理会导致机台较长时间不能生产，且碱清洗剂成本较高。

3，有机溶剂清洗方向不可行，三氧化钨与有机溶剂不反应。

因此，需要配制一款能够快速，有效，且成本低的的洗液，来去除生产机台和工具上的三氧化钨。

发明内容

本发明针对现有技术中生产工具上附着的氧化钨清洗工艺中的不足，提供一种洗除氧化钨的洗液，以实现快速、有效、便捷的清洗各种生产工具及器件上附着的氧化钨污物。

本发明的目的是这样实现的，一种洗除氧化钨的洗液，包括如下质量组成的组分：双氧水0.1%-3%，IA族金属氢氧化物0.1%-3%，氨水0.1%-3%，一元醇0.1-3%，余量为水，所有组份的质量百分量之和为100%。

本发明的清洗液中，三氧化钨也就是氧化钨于水中少量溶解生成钨酸，IA族金属是元素周期表中最左侧一例的金属元素，其氢氧化物和氨水均能与钨酸反应生成钨酸盐或偏钨酸盐，通过此双物料反应，可以提高反应速度和效率。加入双氧水，可提高三氧化钨稳定性，避免三氧化钨转化为低价氧化钨，避免产生不溶解的副产物；加入一元醇，醇不参与化学反应，主要作用为表面活性剂，通过其羟基的极性，加快物质的溶解使得整个反应速度更快，最终可使此清洗液在常温下快速有效的去除三氧化钨附着污物。本发明洗液主要发生了如下化学：

①H₂O₂的稳定作用：

WO₃→WO_2.72+O₂；此过程中三氧化钨会逐渐失去部分氧，变为不水溶的低阶氧化钨，

WO_2.72+H₂O₂→WO₃+H₂O；此过程中双氧水保持三氧化钨不会变成低阶氧化钨，因此通过适量双氧水的添加可以保证氧化钨的稳定性。

②主要化学反应：