[发明专利]一种液箱和液体循环装置在审
| 申请号： | 201810097819.2 | 申请日： | 2018-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN110090471A | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 刘伟;高玉英 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D19/02 | 分类号： | B01D19/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 出液腔 进液腔 隔离板 液体循环装置 液箱 种液 液体循环管路 手动排气 外界环境 吸入循环 箱体内部 液体泄漏 液体泄露 自动排气 排气管 泵体 分隔 排出 排气 溢出 连通 阻隔 | ||
1.一种液箱，其特征在于，包括箱体、设置于所述箱体内的隔离板和连通所述箱体内部与外界环境的排气管；
所述隔离板将所述箱体分隔成进液腔和出液腔，所述进液腔的底部与所述出液腔的底部相连通，所述进液腔的顶部与所述出液腔的顶部相连通；
所述隔离板用于阻隔在所述进液腔产生的气泡流向所述出液腔，所述排气管用于排出溢出的所述气泡。
2.根据权利要求1所述的液箱，其特征在于，还包括连通于所述进液腔的进液口，所述隔离板的下边缘低于所述进液口。
3.根据权利要求1所述的液箱，其特征在于，所述隔离板竖直设置或倾斜设置。
4.根据权利要求2所述的液箱，其特征在于，所述隔离板包括格栅部，所述格栅部包括至少一个格栅板，所述格栅板由上到下间隔设置，所述格栅板的两侧固定于所述隔离板上；
所述格栅板由所述隔离板向所述出液腔延伸且向下倾斜；或者，所述格栅板由所述隔离板向所述进液腔延伸且向上倾斜。
5.根据权利要求4所述的液箱，其特征在于，所述格栅部的上边缘与所述进液口齐平或低于所述进液口。
6.根据权利要求1所述的液箱，其特征在于，所述隔离板的上边缘高于所述液箱内液体的工作液位。
7.根据权利要求1所述的液箱，其特征在于，所述隔离板为平板或曲面板。
8.根据权利要求1所述的液箱，其特征在于，所述隔离板采用焊接、铆接或螺纹连接的形式固定于所述箱体上。
9.根据权利要求1所述的液箱，其特征在于，所述排气管的出气口朝上设置或朝下设置，所述排气管的进气口高于所述液箱内液体的工作液位。
10.根据权利要求9所述的液箱，其特征在于，所述排气管由所述箱体内向下延伸并贯穿所述箱体底部。
11.根据权利要求9所述的液箱，其特征在于，所述排气管贯穿所述箱体的侧壁并由所述箱体外向下延伸。
12.根据权利要求9所述的液箱，其特征在于，所述排气管通过支架固定于所述箱体上。
13.一种液体循环装置，其特征在于，包括如权利要求1-12任一项所述的液箱。
14.根据权利要求13所述的液体循环装置，其特征在于，还包括循环动力模块、温控模块和补液模块；
所述循环动力模块用于抽取所述液箱的出液腔中的液体，为所述液体提供循环流动的动力，以使所述液体流经所述温控模块和用液对象后回到所述液箱的进液腔；
所述温控模块用于监测控制流进和流出所述用液对象的液体的温度；
所述补液模块用于向所述进液腔补充液体。
15.根据权利要求14所述的液体循环装置，其特征在于，所述循环动力模块包括水泵。
16.根据权利要求14所述的液体循环装置，其特征在于，所述用液对象包括光刻机。
17.根据权利要求14所述的液体循环装置，其特征在于，所述温控模块包括制冷单元和/或制热单元。
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