[发明专利]一种利用原子力显微镜测量极片表面SEI膜厚度的方法在审

专利信息
申请号: 201810113022.7 申请日: 2018-02-05
公开(公告)号: CN108535516A 公开(公告)日: 2018-09-14
发明(设计)人: 史瑞星;赵永锋;李云峰;许飞;李莉;李小涛;刘兴福;谭倩;戚凤晓;翟婷 申请(专利权)人: 多氟多(焦作)新能源科技有限公司
主分类号: G01Q60/26 分类号: G01Q60/26
代理公司: 郑州睿信知识产权代理有限公司 41119 代理人: 张兵兵
地址: 454191 河南省焦作市工*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 表面形态 形态数据 刻蚀 原子力显微镜 测量极片 基体表面 测量 后表面 测量模式 厚度检测 交替使用 充放电 极片 重复
【权利要求书】:

1.一种利用原子力显微镜测量极片表面SEI膜厚度的方法,其特征在于,包括以下步骤:

1)将经过充放电的极片在原子力显微镜下以PEAKFORCE QNM模式对其表面形态进行测量,得到初始表面形态数据;

2)采用CONTACT模式对表面进行刻蚀,再切换到PEAKFORCE QNM模式对刻蚀后的表面形态进行测量,得到刻蚀后表面形态数据;

3)重复步骤2),直至刻蚀后表面形态数据不发生变化,切换到PEAKFORCE QNM模式对SEI膜的基体的表面形态进行测量,得到基体表面形态数据;

4)根据初始表面形态数据和基体表面形态数据的差异,确定SEI膜的厚度。

2.如权利要求1所述的利用原子力显微镜测量极片表面SEI膜厚度的方法,其特征在于,PEAKFORCE QNM模式下,阈值设定为150nN~300nN。

3.如权利要求1或2所述的利用原子力显微镜测量极片表面SEI膜厚度的方法,其特征在于,PEAKFORCE QNM模式所使用的探针为RTESPA-150,弹性系数k为6N/m。

4.如权利要求1所述的利用原子力显微镜测量极片表面SEI膜厚度的方法,其特征在于,CONTACT模式下,阈值设定为0.00001mV~0.005mV。

5.如权利要求1或4所述的利用原子力显微镜测量极片表面SEI膜厚度的方法,其特征在于,CONTACT模式所使用的探针为TESPA-V2,弹性系数k为42N/m。

6.如权利要求5所述的利用原子力显微镜测量极片表面SEI膜厚度的方法,其特征在于,CONTACT模式下,扫描范围为(1-5)μm*(1-5)μm。

7.如权利要求1所述的利用原子力显微镜测量极片表面SEI膜厚度的方法,其特征在于,所述表面形态数据包括高度图和形变量图。

8.如权利要求1所述的利用原子力显微镜测量极片表面SEI膜厚度的方法,其特征在于,所述经过充放电的极片通过以下步骤制备得到:将经过充放电的锂离子电池拆解,取出极片,然后用有机溶剂清洗后,干燥即得。

9.如权利要求1所述的利用原子力显微镜测量极片表面SEI膜厚度的方法,其特征在于,所述极片为正极片或负极片。

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