[发明专利]一种投影物镜和光刻曝光系统

权利要求书

1.一种投影物镜，其特征在于，由沿光路依次设置的第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组组成，所述第一透镜组、所述第二透镜组和所述第三透镜组均具有正的光焦度；所述第一透镜组由沿光路依次设置的第一子透镜组和第二子透镜组组成，所述第一子透镜组和所述第二子透镜组具有相反的光焦度；所述第三透镜组由沿光路依次设置的第三子透镜组和第四子透镜组组成，所述第三子透镜组具有正的光焦度，所述第四子透镜组具有负的光焦度；所述投影物镜满足以下关系式：

0.3F2/F10.8；

0.1F2/F30.4；

0.2F1/F30.6；

0.1|f1/f2|0.4；

-0.5f3/f4-0.2；

其中，所述第一透镜组、所述第二透镜组和所述第三透镜组的焦距分别为F1、F2和F3，所述第一子透镜组和所述第二子透镜组的焦距分别为f1和f2，所述第三子透镜组和所述第四子透镜组的焦距分别为f3和f4。

2.根据权利要求1所述的投影物镜，其特征在于，曝光视场直径最大为135mm。

3.根据权利要求1或2所述的投影物镜，其特征在于，物方数值孔径为0.14。

4.根据权利要求3所述的投影物镜，其特征在于，采用放大倍率为-2倍的非对称式结构。

5.根据权利要求1或4所述的投影物镜，其特征在于，所述第二透镜组包括孔径光阑。

6.根据权利要求5所述的投影物镜，其特征在于，所述第二透镜组中在孔径光阑前至少包括一组沿光路方向依次为凹透镜、凸透镜、凹透镜结构的消色差透镜组。

7.根据权利要求1所述的投影物镜，其特征在于，所述第三透镜组中沿光路方向最后一片镜片为末端透镜，所述末端透镜的光出射端面为平面。

8.根据权利要求7所述的投影物镜，其特征在于，所述第一透镜组中沿光路方向的第一片镜片为前端透镜，所述前端透镜的光入射端面为平面。

9.根据权利要求1或4所述的投影物镜，其特征在于，所述第一子透镜组包括沿光路依次共轴排列的第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜，所述第二子透镜组包括沿光路依次共轴排列的第五透镜、第六透镜和第七透镜，所述第二透镜组包括沿光路依次共轴排列的第八透镜、第九透镜、第十透镜、第十一透镜、孔径光阑、第十二透镜、第十三透镜、第十四透镜、第十三透镜、和第十六透镜，所述第三子透镜组包括沿光路依次共轴设置的第十七透镜、第十八透镜、第十九透镜、第二十透镜、第二十一透镜、第二十二透镜、第二十三透镜和第二十四透镜，第四子透镜组包括沿光路共轴排列的第二十五透镜；

其中，第一透镜和第二十五透镜为平凹透镜；

第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第九透镜、第十四透镜、第十六透镜、第二十透镜、第二十一透镜、第二十二透镜、第二十三透镜和第二十四透镜为弯月透镜；

第六透镜、第八透镜、第十透镜、第十三透镜、第十五透镜和第十八透镜为双凸透镜；

第七透镜、第十一透镜、第十二透镜、第十七透镜和第十九透镜为双凹透镜。