[发明专利]阵列基板及其制造方法、显示面板及其制造方法在审
申请号: | 201810115232.X | 申请日: | 2018-02-06 |
公开(公告)号: | CN108333844A | 公开(公告)日: | 2018-07-27 |
发明(设计)人: | 徐海峰;史大为;彭利满;王文涛;杨璐;姚磊;王金锋;闫雷;薛进进;候林;闫芳;司晓文;满志金;侯耀达;李伊;赵丽珍;王磊 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
主分类号: | G02F1/1362 | 分类号: | G02F1/1362;H01L27/12;H01L21/77 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 牛南辉;李峥 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 绝缘层 衬底 源层 投影 第一电极 阵列基板 第二电极 显示面板 栅极电极 不重叠 制造 | ||
本发明涉及一种阵列基板及其制造方法、显示面板及其制造方法。阵列基板:包括:衬底;在所述衬底上的有源层;在所述有源层上的第一绝缘层;在所述第一绝缘层上的栅极电极和第一电极,其中,所述第一电极在所述衬底上的投影与所述有源层在所述衬底上的投影不重叠;在所述第一电极上的第三绝缘层,所述第三绝缘层在所述衬底上的投影与所述有源层在所述衬底上的投影不重叠;在所述第三绝缘层上的第二电极;以及在所述栅极电极和所述第二电极上的第二绝缘层。
技术领域
本发明涉及显示技术领域。更具体地,涉及一种阵列基板、显示面板、阵列基板的制造方法以及显示面板的制造方法。
背景技术
显示产品的阵列基板通常会采用双层布线来形成电容,以保持稳定的电压。而在一般的阵列基板的制造过程中,会存在对薄膜晶体管的不利影响。
发明内容
本发明的实施例提供了一种阵列基板、显示面板、阵列基板的制造方法以及显示面板的制造方法。
本发明的一个目的在于提供一种阵列基板。
本发明的第一方面提供了一种阵列基板。所述阵列基板包括:
衬底
在所述衬底上的有源层;
在所述有源层上的第一绝缘层;
在所述第一绝缘层上的栅极电极和第一电极,其中,所述第一电极在所述衬底上的投影与所述有源层在所述衬底上的投影不重叠;
在所述第一电极上的第三绝缘层,所述第三绝缘层在所述衬底上的投影与所述有源层在所述衬底上的投影不重叠;以及
在所述第三绝缘层上的第二电极;
在所述栅极电极和所述第二电极上的第二绝缘层。
在一个实施例中,所述有源层包括多晶硅。
在一个实施例中,所述栅极电极和所述第一电极同层设置。
在一个实施例中,所述第二绝缘层还覆盖所述第三绝缘层和所述第二电极。
在一个实施例中,所述阵列基板还包括:设置在所述第二绝缘层上的源/漏极电极,所述源/漏极电极通过过孔与所述有源层接触;
在所述源/漏极电极和所述第二绝缘层上的平坦化层。
在一个实施例中,所述阵列基板还包括:在所述平坦化层上的像素定义层和所述像素定义层所限定的像素发光单元,其中,
所述像素发光单元包括:在所述平坦化层上的第三电极;
在所述第三电极上的发光层;
在所述发光层上的第四电极。
本发明的另一个目的在于提供一种显示面板。
本发明的第二方面提供了一种显示面板。所述显示面板包括如上所述的阵列基板。
本发明的又一个目的在于提供一种阵列基板的制造方法。
本发明的第三方面提供了一种阵列基板的制造方法。所述阵列基板的制造方法包括:在衬底上形成有源层;
在所述有源层上形成第一绝缘层;
在所述第一绝缘层上形成栅极电极和第一电极,其中,所述第一电极在所述衬底上的投影与所述有源层在所述衬底上的投影不重叠;
在所述第一电极上形成第三绝缘层,其中,所述第三绝缘层在所述衬底上的投影与所述有源层在所述衬底上的投影不重叠;
在所述第三绝缘层上形成第二电极;
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