[发明专利]一种含铜蚀刻废液的综合回收利用工艺

权利要求书

1.一种含铜蚀刻废液的回收利用工艺，其特征在于：包括如下步骤，

(1)碱性蚀刻废液预处理，向碱性蚀刻废液中加入药剂氯化镁、PAM除去杂质砷，再经过压滤机除去机械颗粒杂质；

(2)酸性蚀刻废液预处理，向酸性蚀刻废液中加入双氧水将亚铜离子氧化为铜离子，经压滤机除去机械颗粒物质和油污；

(3)将经过预处理的酸性蚀刻废液和碱性蚀刻废液预热后泵入反应釜内，控制反应温度和搅拌强度进行酸碱中和反应，待生成碱式氯化铜结晶体后放料，经洗涤、离心脱水，干燥后得到碱式氯化铜产品，未干燥部分进入硫酸铜生产工序；

主要反应方程式：

2CuCl₂+2Cu(NH₃)₄Cl₂+(6+x)H₂O+6HCl＝3Cu(OH)₂·CuCl₂·xH₂O+8NH₄Cl

其中，X＝1/2、1或2。

2.根据权利要求1所述的一种含铜蚀刻废液的回收利用工艺，其特征在于：将部分经过预处理的酸性蚀刻废液调配为碱性，取样测定酸性蚀刻废液中游离盐酸含量，计算出酸性蚀刻废液与碱性蚀刻废液发中和反应物料平衡时，调配所需氨气的量；然后给酸性蚀刻废液泵入氨气，并保持轻微搅拌充分反应，调节pH至碱性并保持稳定络合；

主要反应方程式：

HCl+NH₃＝NH₄Cl

CuCl₂+4NH₃＝Cu(NH₃)₄Cl₂；

再将调配好的碱性蚀刻液与经步骤(1)中处理后的碱性蚀刻液混合后，经过步骤(3)的处理。

3.根据权利要求1所述的一种含铜蚀刻废液的回收利用工艺，其特征在于：硫酸铜生产工艺，将未干燥的碱式氯化铜晶体加入到反应釜中，并加入一定量的水，再缓慢加入98％的浓硫酸控制其反应的pH，反应釜搅拌桨保持持续搅拌使碱式氯化铜溶解并彻底反应生产蓝色透亮的溶液，然后泵入结晶釜中，反应生成的溶液在结晶釜中冷却析出硫酸铜晶体，经离心脱水干燥后得到硫酸铜产品；

主要反应方程式：

3Cu(OH)₂·CuCl₂·xH₂o+4H₂SO₄＝4CuSO₄+2HCl+(x+6)H₂O

其中，X＝1/2、1或2。

4.根据权利要求1所述的一种含铜蚀刻废液的回收利用工艺，其特征在于：步骤(3)中，中和反应的结晶母液主要为氯化铵溶液，进入蚀刻子液再生车间，用以重新配置蚀刻液。

5.根据权利要求3所述的一种含铜蚀刻废液的回收利用工艺，其特征在于：离心脱水所得硫酸铜结晶母液收集后泵入陶瓷蒸发釜内，利用蒸汽加热蒸发浓缩，浓缩结晶后再进行干燥得到硫酸铜产品，蒸发所得蒸馏水回用于碱式氯化铜生产中作为洗涤水。

6.根据权利要求2所述的一种含铜蚀刻废液的回收利用工艺，其特征在于：将酸性蚀刻废液调节至pH值为8-10。

7.根据权利要求1所述的一种含铜蚀刻废液的回收利用工艺，其特征在于：步骤(3)中预热的温度为50℃-60℃。

8.根据权利要求1所述的一种含铜蚀刻废液的回收利用工艺，其特征在于：步骤(3)中的反应温度为75℃-100℃。

9.根据权利要求3所述的一种含铜蚀刻废液的回收利用工艺，其特征在于：加入浓硫酸后使溶液的pH值为2.5-3.5。