[发明专利]激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，其中，

该激光加工装置至少包含：

保持单元，其对被加工物进行保持；

激光光线照射单元，其对该保持单元所保持的被加工物照射激光光线；

X方向移动单元，其对该保持单元和该激光光线照射单元在X方向上相对地进行加工进给；以及

Y方向移动单元，其对该保持单元和该激光光线照射单元在与该X方向垂直的Y方向上相对地进行加工进给，

该激光光线照射单元至少包含：

激光振荡器，其振荡出激光光线；

多面镜，其将该激光振荡器所振荡出的激光光线按照规定的分散角度分散并在X方向上进行扫描；

聚光器，其使在X方向上扫描的激光光线会聚于该保持单元所保持的被加工物；以及

反转器，其配设在该多面镜与该聚光器之间，使激光光线的扫描方向在该X方向上反转而使反转后的扫描方向与反转前的扫描方向相反，

该反转器至少包含：

转像棱镜；

驱动部，其使该转像棱镜以该分散角度的中央为旋转轴而旋转90度；

第一中继透镜，其配设在该多面镜与该转像棱镜之间，将按照该分散角度分散了的激光光线修正为平行光；以及

第二中继透镜，其配设在该转像棱镜与该聚光器之间，使通过了该转像棱镜的平行光恢复该分散角度，

在对该保持单元所保持的被加工物照射激光光线而在去路上进行加工时和在返路上进行加工时，仅使该转像棱镜旋转90度就能够使激光光线的扫描方向反转。