[发明专利]一种晶圆搬运机械手

权利要求书

1.一种晶圆搬运机械手，包括升降轴、旋转轴和伸展轴，其特征为，所述的伸展轴包括伸展电机、一级伸展臂、二级伸展臂和手指固定座，所述的一级伸展臂与所述伸展电机之间设置有一级关节，所述的一级伸展臂与所述的二级伸展臂之间设置有二级关节，所述的二级伸展臂和所述的手指固定座之间设置有三级关节，所述的伸展电机、所述的一级关节、所述的二级关节和所述的三级关节依次传动，所述的手指固定座始终保持直线运动。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆搬运机械手，其特征为，所述的一级关节、所述的二级关节和所述的三级关节的传动比为1:2:1。

3.根据权利要求1或2所述的一种晶圆搬运机械手，其特征为，所述的伸展电机通过谐波减速机驱动所述一级伸展臂转动。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆搬运机械手，其特征为，所述的一级关节上设置有一级同步轮，所述的二级关节上设置有二级同步轮，所述的一级同步轮和所述的二级同步轮通过一级同步带传动连接。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆搬运机械手，其特征为，所述的一级伸展臂内还设置有与所述一级同步带相配合的一级张紧轮。

6.根据权利要求3所述的一种晶圆搬运机械手，其特征为，所述的二级关节上设置有三级同步轮，所述的三级关节上设置有四级同步轮，所述的三级同步轮和所述的四级同步轮通过二级同步带传动连接。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆搬运机械手，其特征为，所述的二级伸展臂内还设置有与所述二级同步带相配合的二级张紧轮。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆搬运机械手，其特征为，所述的手指固定座上设置有插槽，所述的插槽内可拆卸安装晶圆固定装置。

9.根据权利要求8所述的一种晶圆搬运机械手，其特征为，所述的晶圆固定装置包括真空吸盘、气缸机械手。

10.根据权利要求1所述的一种晶圆搬运机械手，其特征为，所述的手指固定座上还设置有扫描传感器。