[发明专利]一种晶圆搬运机械手

说明书

一种晶圆搬运机械手，涉及一种半导体制造技术，包括升降轴、旋转轴和伸展轴，所述的伸展轴包括伸展电机、一级伸展臂、二级伸展臂和手指固定座，一级伸展臂与所述伸展电机之间设置有一级关节，一级伸展臂与所述的二级伸展臂之间设置有二级关节，二级伸展臂和所述的手指固定座之间设置有三级关节，伸展电机、一级关节、二级关节和所述的三级关节依次传动，手指固定座始终保持直线运动。与现有技术相比，本发明的机械手在传送过程中晶片中心始终保证直线运动，且角度不会发生改变。从而提高机械手整体刚度和承重能力，同时提高了重复定位精度。本发明结构合理性能稳定，维护方便，多功能集一身，可满足多种工艺设备要求，适用于各种半导体设备。

技术领域

本发明涉及一种半导体制造技术，尤其是一种用于晶圆搬运的机械手。

背景技术

在半导体加工设备中，经常需要将晶圆在各个工位之间进行传送，在传送的过程中，传送精度越高，设备工艺一致性就越好，速度越快，单台设备的产能就越大。随着半导体工艺的发展，设备处理的工艺越来越复杂，对设备自动化程度、柔性化程度要求也越来越高，这就需要一种定位精度高，速度快的多自由度的机械手。

发明内容

本发明针对现有技术中的不足，提供了一种晶圆搬运机械手，本发明的机械手在传送过程中晶片中心始终保证直线运动，且角度不会发生改变。从而提高机械手整体刚度和承重能力，同时提高了重复定位精度。本发明结构合理性能稳定，维护方便，多功能集一身，可满足多种工艺设备要求，适用于各种半导体设备。

为了解决上述技术问题，本发明通过下述技术方案得以解决：一种晶圆搬运机械手，包括升降轴、旋转轴和伸展轴，其特征为，所述的伸展轴包括伸展电机、一级伸展臂、二级伸展臂和手指固定座，所述的一级伸展臂与所述伸展电机之间设置有一级关节，所述的一级伸展臂与所述的二级伸展臂之间设置有二级关节，所述的二级伸展臂和所述的手指固定座之间设置有三级关节，所述的伸展电机、所述的一级关节、所述的二级关节和所述的三级关节依次传动，所述的手指固定座始终保持直线运动。

上述技术方案中，优选的，所述的一级关节、所述的二级关节和所述的三级关节的传动比为1:2:1。

上述技术方案中，优选的，所述的伸展电机通过谐波减速机驱动所述一级伸展臂转动。

上述技术方案中，优选的，所述的一级关节上设置有一级同步轮，所述的二级关节上设置有二级同步轮，所述的一级同步轮和所述的二级同步轮通过一级同步带传动连接。

上述技术方案中，优选的，所述的一级伸展臂内还设置有与所述一级同步带相配合的一级张紧轮。

上述技术方案中，优选的，所述的二级关节上设置有三级同步轮，所述的三级关节上设置有四级同步轮，所述的三级同步轮和所述的四级同步轮通过二级同步带传动连接。

上述技术方案中，优选的，所述的二级伸展臂内还设置有与所述二级同步带相配合的二级张紧轮。

上述技术方案中，优选的，所述的手指固定座上设置有插槽，所述的插槽内可拆卸安装晶圆固定装置。

上述技术方案中，优选的，所述的晶圆固定装置包括真空吸盘、气缸机械手。

上述技术方案中，优选的，所述的手指固定座上还设置有扫描传感器。