[发明专利]一种双（二乙基）氨基硅烷的精制方法

权利要求书

1.一种双（二乙基）氨基硅烷的精制方法，其特征在于包括以下步骤：

工业级双（二乙基）氨基硅烷进入装有杂质分解剂的反应器中，温度30-80℃，流速1-5BV/h，得到初步精制的双（二乙基）氨基硅烷气体；初步精制的双（二乙基）氨基硅烷气体再进入装有吸附剂的吸附塔，温度20-40℃，流速1-5BV/h；吸附后得到高纯度的双（二乙基）氨基硅烷；

所述的杂质分解剂的制备方法为：

按重量份，100份硅胶经洗涤、干燥，加入5-15份巯丙基三乙氧基硅烷,0.001-0.01份3-甲酰基-5-甲基苯基硼酸，1-5份三乙胺，300-1000份丙酮，50-80℃反应10-24小时，过滤，洗涤，干燥，得到巯基硅烷化硅胶，再加入300-1000份丙酮，加入0.1-1份十二烷基苯磺酸铁，0.005-0.02份3-噻吩基碘化锌，0.01-0.1份4-氨基-6-溴喹啉，机械搅拌下回流20-40小时；停止反应后，过滤，洗涤，干燥，制得新型杂质分解剂;

所述的吸附剂选自X型分子筛，A型分子筛，活性炭。

2.根据权利要求1所述的一种双（二乙基）氨基硅烷的精制方法，其特征在于

所述的吸附剂在使用前经过酸处理，热处理或蒸汽处理。

3.根据权利要求1所述的一种双（二乙基）氨基硅烷的精制方法，其特征在于

所述杂质分解剂采用巯基硅烷化硅胶负载十二烷基苯磺酸铁， 3-噻吩基碘化锌，

4-氨基-6-溴喹啉，3-甲酰基-5-甲基苯基硼酸，吸附硅烷中的含氮，含磷杂质。

4.根据权利要求1所述的一种双（二乙基）氨基硅烷的精制方法，其特征在于

该新型杂质分解剂具有微孔结构，呈球形结构。

5.根据权利要求1所述的一种双（二乙基）氨基硅烷的精制方法，其特征在于高纯度的双（二乙基）氨基硅烷达到99.999%的纯度。