[发明专利]硅棒多线切割设备及方法、硅棒转运系统

权利要求书

1.一种硅棒多线切割设备，其特征在于，包括：

工作台，依序设有等待区、第一切割区以及第二切割区；

硅棒转换装置，设于所述工作台上，包括：转换工作台，设有多个硅棒承载台；转换驱动机构，用于驱动所述转换工作台作转换运动以令所述多个硅棒承载台在等待区、第一切割区以及第二切割区之间转换；以及

线切割装置，设有与所述第一切割区对应的至少一第一线切割单元和与所述第二切割区对应的至少一第二线切割单元；所述至少一第一线切割单元用于对所述硅棒转换装置中对应于第一切割区的硅棒承载台所承载的待切割硅棒进行开方切割，所述至少一第二线切割单元用于对所述硅棒转换装置中对应于第二切割区的硅棒承载台所承载的已开方硅棒进行倒角切割。

2.根据权利要求1所述的硅棒多线切割设备，其特征在于，所述转换驱动机构包括：

转动轴，连接于所述转换工作台；以及

转动驱动源，与所述转动轴相连，用于驱动所述转动轴转动以带动所述转换工作台转动。

3.根据权利要求1所述的硅棒多线切割设备，其特征在于，所述线切割装置包括：

线切割支座，所述线切割支座上设有至少一第一线切割单元和至少一第二线切割单元；以及

升降机构，用于驱动所述线切割支座作升降运动。

4.根据权利要求1所述的硅棒多线切割设备，其特征在于，所述线切割装置包括：

第一线切割支座，所述第一线切割支座上设有至少一第一线切割单元；

第一升降机构，用于驱动所述第一线切割支座作升降运动；

第二线切割支座，所述第二线切割支座上设有至少一第二线切割单元；以及

第二升降机构，用于驱动所述第二线切割支座作升降运动。

5.根据权利要求1所述的硅棒多线切割设备，其特征在于，还包括临设于所述硅棒转换装置的硅棒装卸装置，包括：

换向载具，设有工件夹具；以及

换向驱动机构，用于驱动所述换向载具作换向运动以令所述工件夹具夹持待切割硅棒并将待切割硅棒由装卸区转运至对应于等待区的硅棒承载台，或，夹持对应于等待区的硅棒承载台上的已倒角硅棒并将已倒角硅棒由等待区转运至装卸区。

6.根据权利要求1所述的硅棒多线切割设备，其特征在于，还包括设于所述硅棒承载台周边的边皮顶托机构。

7.根据权利要求6所述的硅棒多线切割设备，其特征在于，所述边皮顶托机构包括：

活动承托件；以及

锁定控制件，用于在活动承托件抵靠于待切割硅棒的底部时将所述活动承托件控制在锁定状态。

8.根据权利要求1所述的硅棒多线切割设备，其特征在于，还包括边皮卸料装置，用于将所述至少一第一线切割单元对所述待切割硅棒进行开方切割后产生的边皮予以卸料。

9.根据权利要求8所述的硅棒多线切割设备，其特征在于，所述边皮卸料装置包括：错开机构，用于驱动边皮和已开方硅棒发生相对升降位移，使得所述边皮的顶端突出于所述已开方硅棒。

10.根据权利要求9所述的硅棒多线切割设备，其特征在于，所述边皮卸料装置还包括：夹持转运机构，用于夹持住所述边皮的顶端后并拉升所述边皮以脱离所述已开方硅棒以及将所述边皮转运至边皮卸料区。