[发明专利]一种LED基板烘烤箱及其基板烘烤方法在审
| 申请号： | 201810138218.1 | 申请日： | 2018-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN108231634A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 赵少芹 | 申请（专利权）人： | 六安联众工业自动化技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/687;H01L33/48 |
| 代理公司： | 六安众信知识产权代理事务所(普通合伙) 34123 | 代理人： | 熊伟 |
| 地址： | 237000 安徽省六安市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基板烘烤 烘烤 烘烤箱 红外线烘烤 固定装置 驱动电机 烘烤箱体 固定板 体内 对称固定 对准基板 调节杆 对基板 旋转轴 侧面 | ||
1.一种LED基板烘烤箱，包括烘烤箱体和LED基板，其特征在于：所述的烘烤箱体内设有红外线烘烤器和基板烘烤固定装置，所述的红外线烘烤器设为两个对称固定在烘烤箱体顶端的两侧，所述的红外线烘烤器对准基板烘烤固定装置内的LED基板设置，所述的基板烘烤固定装置包括固定板和驱动电机，所述的驱动电机固定在烘烤箱体内侧面，驱动电机通过旋转轴与固定板一端的调节杆连接。
2.根据权利要求1所述的一种LED基板烘烤箱，其特征在于，所述的固定板是由固定侧板和调节杆组成的封闭矩形结构的固定板，所述的固定侧板的外侧边对称设有固定条块，且固定条块上均匀的设有多组LED基板固定的固定顶紧头，固定顶紧头通过固定连接杆与固定条块内侧壁连接。
3.根据权利要求2所述的一种LED基板烘烤箱，其特征在于，所述的固定条块的内侧面设为向内凹陷的弧状侧面结构。
4.根据权利要求2所述的一种LED基板烘烤箱，其特征在于，所述的固定板两侧的固定侧板之间通过多组均匀设置的固定放置条连接，且固定放置条使用的是可伸缩的合金固定放置条。
5.根据权利要求1所述的一种LED基板烘烤箱，其特征在于，所述的调节杆由调节固定杆和调节动杆组成，调节固定杆上的调节滑竿分别嵌设置在调节动杆的调节槽内，所述的调节滑竿的外侧壁上设有延伸状态的拉紧弹黄。
6.根据权利要求1所述的一种LED基板烘烤箱，其特征在于，所述的烘干箱体的底部两侧对称设有两个向内凹陷的圆弧形反光板。
7.根据权利要求1所述的一种LED基板烘烤箱，其特征在于，所述的烘烤箱体内侧壁上设有均匀厚度高保温性能的隔热层。
8.根据权利1—6任意一项一种LED基板烘烤箱的基板烘烤方法，其特征在于，其基板烘烤方法步骤为：
(1)首先将基板放置到烘烤箱体内的固定板上进行固定，通过调节固定板两端的调节杆长度以针对不同大小的基板进行的固定，然后在驱动电机的带动下固定板进行缓慢转动，基板也随着固定板进行旋转转动，最后打开红外线烘烤器对基板的表面进行烘烤加热处理。
9.根据权利要求7所述的一种LED基板烘烤箱的基板烘烤方法，其特征在于，所述的烘烤箱体内红外线烘烤器在对基板进行烘烤加热处理时的温度控制在70—90℃，时间控制在12—15min。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
