[发明专利]一种制备硫化锌膜的方法在审
| 申请号： | 201810141781.4 | 申请日： | 2018-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN108330444A | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | 余赞;周振烈;罗臻;钱正宇;钟文;陆强;李侠;杜建军 | 申请（专利权）人： | 常德金德新材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/26;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 逯长明;许伟群 |
| 地址： | 415001 湖南省常德*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 钼舟 硫化锌膜 石英管 蒸发槽 制备 硫化锌 真空仓 平整 蒸发 真空镀膜机 放卷装置 均匀性好 牢固连接 排列方式 排列整齐 生产效率 室内空气 蒸发镀膜 正负电极 支撑垫 散热 加装 申请 平行 送入 | ||
【权利要求书】：
1.一种制备硫化锌膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：
将石英管安装在蒸发槽内；
将钼舟平整安装在石英管上方，使钼舟与蒸发槽内石英管平行；
将钼舟与蒸发槽内正负电极座牢固连接在一起；
将硫化锌放在钼舟上；将膜放在放卷装置上进行装膜；
将膜与蒸发槽送入真空仓中，在真空镀膜机内进行蒸发镀膜；
关蒸发降温，使室内空气进入真空仓，取膜，得到硫化锌膜。
2.根据权利要求1所述的制备硫化锌膜的方法，其特征在于，所述钼舟的厚度为0.75mm。
3.根据权利要求1所述的制备硫化锌膜的方法，其特征在于，所述石英管的长度为1.0至1.5cm之间任一数值。
4.根据权利要求1所述的制备硫化锌膜的方法，其特征在于，所述真空镀膜机在真空蒸发过程中的工艺参数为：电压150V、真空镀膜机速度300～450m/min。
5.根据权利要求1所述的制备硫化锌膜的方法，其特征在于，所述真空镀膜机在真空蒸发过程中的真空度为2×10-2Pa。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常德金德新材料科技股份有限公司，未经常德金德新材料科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201810141781.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
