[发明专利]一种制备硫化锌膜的方法

说明书

本申请涉及一种制备硫化锌膜的方法，包括以下步骤：将石英管安装在蒸发槽内；将钼舟平整安装在石英管上方，使钼舟与蒸发槽内石英管平行；将钼舟与蒸发槽内正负电极座牢固连接在一起；将硫化锌放在钼舟上；将膜放在放卷装置上进行装膜；将膜与蒸发槽送入真空仓中，在真空镀膜机内进行蒸发镀膜；关蒸发降温，使室内空气进入真空仓，取膜，得到硫化锌膜。本申请提出在蒸发槽内加装石英管，钼舟平整安装在石英管上方，石英管垫在钼舟底部对钼舟起到散热和支撑垫平的作用，钼舟平整放置使得硫化锌在真空仓中蒸发均匀。采用该方法制备的硫化锌膜，改变了硫化锌的排列方式，制得的硫化锌膜均匀性好、排列整齐，且制备硫化锌膜的生产效率显著提高。

技术领域

本申请属于薄膜制备技术领域，具体涉及一种制备硫化锌膜的方法。

背景技术

硫化锌是一种半导体发光材料，由于它同时具有化学性质稳定、含量丰富、无毒环保等优点，目前硫化锌主要应用在光学镀膜、光电导体以及光伏器件等诸多领域。硫化锌有粉末状、透明或半透明块状多晶等形态。块状多晶硫化锌主要用于激光器或飞行器的红外窗口材料，还被大量应用于真空镀膜。

目前，硫化锌膜主要通过热蒸发制备而成。通常将装有硫化锌的钼舟置于真空室内，在一定的真空度下，通过蒸发源加热使其蒸发，当蒸发材料的分子平均自由程大于其真空室的线形尺寸，蒸发材料的原子和分子从蒸发源表面逸出后，很少受到其他分子或原子的冲击与阻碍，可直接到达被镀的基材表面，由于基片表面温度较低便凝结到基片表面而形成薄膜。

然而，现有技术中钼舟在加热蒸发过程中，钼舟容易被烧坏，影响硫化锌膜的均匀性，且生产效率不高。因此，目前需要优化现有技术的工艺参数，以提高制备硫化锌膜的生产效率。

发明内容

本申请提供了一种制备硫化锌膜的方法，提高了硫化锌膜的均匀性和生产效率。

本申请提供了一种制备硫化锌膜的方法，包括以下步骤：

将石英管安装在蒸发槽内；

将钼舟平整安装在石英管上方，使钼舟与蒸发槽内石英管平行；

将钼舟与蒸发槽内正负电极座牢固连接在一起；

将硫化锌放在钼舟上；将膜放在放卷装置上进行装膜；

将膜与蒸发槽送入真空仓中，在真空镀膜机内进行蒸发镀膜；

关蒸发降温，使室内空气进入真空仓，取膜，得到硫化锌膜。

可选的，所述钼舟的厚度为0.75mm。

可选的，所述石英管的长度为1.0至1.5cm之间任一数值。

可选的，所述真空镀膜机在真空蒸发过程中的工艺参数为：电压150V、真空镀膜机速度300～450m/min。

可选的，所述真空镀膜机在真空蒸发过程中的真空度为2×10^-2Pa。

由以上技术方案，本申请提供了一种制备硫化锌膜的方法，石英管放在蒸发槽内，钼舟平整安装在石英管上方并与蒸发槽内正负电极座牢固连接在一起，石英管垫在钼舟底部对钼舟起到散热和支撑垫平的作用，钼舟平整放置使得硫化锌在真空仓中蒸发均匀，从而改善硫化锌镀层的均匀性。采用该方法制备的硫化锌膜，改变了硫化锌的排列方式，制得的硫化锌膜均匀性好、排列整齐，且制备硫化锌膜的生产效率显著提高。

附图说明

为了更清楚地说明本申请的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请提供的一种制备硫化锌膜的方法流程示意图。

具体实施方式