[发明专利]光伏扩散或者退火工序中石英舟退舟后装卸硅片的方法

权利要求书

1.一种光伏扩散或者退火工序中石英舟退舟后装卸硅片的方法，其特征在于：所述方法包括：

步骤1、装卸机械手从石英舟上分两次抓取处理后的硅片卸在空的花篮组内，花篮组移出装卸区；

步骤2、下一组花篮携带未处理的硅片移进装卸区，装卸机械手先从花篮组内分两次抓取未处理的硅片装载在石英舟空出的区域，再从石英舟上分两次抓取处理后的硅片装载在花篮组内；花篮组移出装卸区；

步骤3、重复步骤2直到石英舟上所有的处理后的硅片卸完，并且装满未处理的硅片；

所述装卸机械手从石英舟上分两次抓取处理后的硅片卸在空的花篮组内，具体包括：

装卸机械手从石英舟上抓取一批处理后的硅片；

装卸机械手移动至花篮组上方，将处理后的硅片装载在花篮组的一个储片区内,同时石英舟向上进给第一设定距离；

装卸机械手移动至石英舟上方，从石英舟上抓取另一批处理后的硅片，同时花篮组另一个储片区移进装卸区；

装卸机械手再次移动至花篮组上方，将处理后的硅片装载在花篮组的另一个储片区内；

在所述装卸机械手再次移动至花篮组上方，将处理后的硅片装载在花篮组的另一个储片区内之后，装卸机械手位于花篮组上方进行等待，等待下一组花篮携带未处理的硅片移进装卸区；

所述装卸机械手先从花篮组内分两次抓取未处理的硅片装载在石英舟空出的区域，具体包括：

装卸机械手从花篮组内抓取一批未处理的硅片；

装卸机械手移动至石英舟上方，将未处理的硅片装载在石英舟上，同时花篮组的另一储片区移进装卸区；

装卸机械手移动至花篮组上方，从花篮组内抓取另一批未处理的硅片；同时石英舟向下回退第一设定距离；

装卸机械手再次移动至石英舟上方，将未处理的硅片装载在石英舟上；

在所述装卸机械手先从花篮组内分两次抓取未处理的硅片装载在石英舟空出的区域之后，装卸机械手位于石英舟上方进行等待，等待石英舟向上进给第二设定距离。

2.根据权利要求1所述的光伏扩散或者退火工序中石英舟退舟后装卸硅片的方法，其特征在于：所述第二设定距离是所述第一设定距离的100倍。

3.根据权利要求1所述的光伏扩散或者退火工序中石英舟退舟后装卸硅片的方法，其特征在于：所述再从石英舟上分两次抓取处理后的硅片装载在花篮组内，具体包括：

装卸机械手从石英舟上抓取一批处理后的硅片；

装卸机械手移动至花篮组上方，将处理后的硅片装载在花篮组的一个储片区内,同时石英舟向上进给第一设定距离；

装卸机械手移动至石英舟上方，从石英舟上抓取另一批处理后的硅片，同时花篮组另一个储片区移进装卸区；

装卸机械手再次移动至花篮组上方，将处理后的硅片装载在花篮组的另一个储片区内。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的光伏扩散或者退火工序中石英舟退舟后装卸硅片的方法，其特征在于：在装卸机械手装卸硅片之前，顶升装置向上顶起；在花篮组或者石英舟移动之前，顶升装置下降复位。

5.根据权利要求1-3中任一项所述的光伏扩散或者退火工序中石英舟退舟后装卸硅片的方法，其特征在于：所述第一设定距离为石英舟上相邻两个储片槽之间的距离。

6.根据权利要求1所述的光伏扩散或者退火工序中石英舟退舟后装卸硅片的方法，其特征在于：所述花篮组有两组，分别设置在装卸区的两侧，在花篮驱动装置的驱动下交替运动至装卸区进行装卸硅片。

7.根据权利要求1所述的光伏扩散或者退火工序中石英舟退舟后装卸硅片的方法，其特征在于：所述处理为扩散或者退火。