[发明专利]光伏扩散或者退火工序中石英舟退舟后装卸硅片的方法

说明书

本发明公开了光伏扩散或者退火工序中石英舟退舟后装卸硅片的方法，所述方法包括：步骤1、装卸机械手从石英舟上分两次抓取处理后的硅片卸在空的花篮组内，花篮组移出装卸区；步骤2、下一组花篮携带未处理的硅片移进装卸区，装卸机械手先从花篮组内分两次抓取未处理的硅片装载在石英舟空出的区域，再从石英舟上分两次抓取处理后的硅片装载在花篮组内；花篮组移出装卸区；步骤3、重复步骤2直到石英舟上所有的处理后的硅片卸完，并且装满未处理的硅片。本发明通过合理的流程设置和时序安排，利用装卸机械手装卸速度快的特点，能够大量减少装卸机械手的等待时间，提高了在退舟后的石英舟上卸下处理后的硅片、装载未处理的硅片的装卸效率。

技术领域

本发明涉及一种石英舟装卸硅片的方法，具体是涉及光伏扩散或者退火工序中石英舟退舟后装卸硅片的方法，属于太阳能光伏技术领域。

背景技术

在太阳能电池生产工艺中，扩散是指在硅片两面通过化学反应制备PN结的工艺，退火是指对硅片两面进行退火处理。石英舟是扩散或者退火工序中所使用的治具，一般是分成500或者600个储片槽。但是由于对应的花篮由两组50个槽的储片区构成且两个储片区之间有一定的间隔，因此每次只能装卸50片硅片。

在扩散或者退火工序中，石英舟退舟后，石英舟上存在经过扩散或者退火处理后的硅片需要卸下，并且同时需要在卸空后的石英舟上装载未经处理的硅片。

目前，石英舟装卸硅片有两种方式：人工和机器。

(1)采用人工操作，劳动强度大，效率低；

(2)采用机器，行业内目前使用的一种装卸机械手，都是采取伺服电机和吸盘实现装卸硅片。具体的装卸过程是：花篮移进装卸区，花篮的两个储片区，一个空置，另一个装载未处理的硅片；装卸机械手先从石英舟上1-100号储片槽中的奇数号储片槽内抓取处理后的硅片卸在花篮的空置区域，然后停留在花篮上方进行等待；花篮驱动装置驱动花篮的另一个储片区(装载未处理的硅片)移进装卸区，装卸机械手将花篮上未处理的硅片抓取装载在石英舟上1-100号储片槽中的空出的奇数号储片槽内；装卸机械手停留在石英舟上方进行等待，石英舟驱动装置驱动石英舟1-100号储片槽中的偶数号储片槽移进装卸区，装卸机械手从石英舟上1-100号储片槽中的偶数号储片槽内抓取处理后的硅片卸在花篮的另一个储片区，然后进行等待。花篮装满100片处理后的硅片后移出装卸区进行下料，同时另一个装载未处理的硅片的花篮移进装卸区进行装卸。以此类推循环上述装卸过程，直到将石英舟上处理后的硅片全部卸下并装满未处理的硅片。

在上述装卸过程中，装卸机械手每完成50片硅片的装卸需要在花篮和石英舟上方分别等待一次，即完成100片硅片的装卸需要等待四次。由于花篮和石英舟移进装卸区的速度较慢并且在装卸区设有顶升装置需要将花篮和石英舟上的硅片顶升至装卸机械手的抓取位置(顶升过程较慢，防止硅片在顶升过程中损坏；顶升过程加长了装卸机械手的等待时间)，装卸机械手在装卸过程中的等待时间会很长，严重影响到硅片的装卸效率，进而影响到设备的生产产能。

发明内容

本发明的目的是提供一种光伏扩散或者退火工序中石英舟退舟后装卸硅片的方法，解决了装卸机械手在装卸过程中等待时间过长而导致的硅片的装卸效率低、设备的生产产能低的问题。

本发明的上述目的可采用下列技术方案来实现：

本发明提供了一种光伏扩散或者退火工序中石英舟退舟后装卸硅片的方法，其特征在于：所述方法包括：

步骤1、装卸机械手从石英舟上分两次抓取处理后的硅片卸在空的花篮组内，花篮组移出装卸区；

步骤2、下一组花篮携带未处理的硅片移进装卸区，装卸机械手先从花篮组内分两次抓取未处理的硅片装载在石英舟空出的区域，再从石英舟上分两次抓取处理后的硅片装载在花篮组内；花篮组移出装卸区；

步骤3、重复步骤2直到石英舟上所有的处理后的硅片卸完，并且装满未处理的硅片。