[发明专利]显示面板的绑定区结构及其制作方法、显示面板有效

专利信息
申请号: 201810143369.6 申请日: 2018-02-11
公开(公告)号: CN108258026B 公开(公告)日: 2020-09-29
发明(设计)人: 李鹏 申请(专利权)人: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L27/32 分类号: H01L27/32;H01L51/56
代理公司: 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 代理人: 林才桂
地址: 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 显示 面板 绑定 结构 及其 制作方法
【权利要求书】:

1.一种显示面板的绑定区结构,其特征在于,包括基板(100)、设于基板(100)上方的导体层(200)以及设于导体层(200)及基板(100)上方的第一绝缘层(300);

所述基板(100)上设有间隔设置的多个绑定接触区(110)、设于相邻的绑定接触区(110)之间的间隔区(120)以及设于多个绑定接触区(110)与间隔区(120)所在区域外侧的周边绝缘区(130);

所述导体层(200)包括多个间隔的绑定接触图案(210),所述多个绑定接触图案(210)分别与多个绑定接触区(110)对应;

所述第一绝缘层(300)对应多个绑定接触区(110)设有多个开口(310),所述第一绝缘层(300)对应间隔区(120)的部分的厚度小于对应周边绝缘区(130)的部分的厚度。

2.如权利要求1所述的显示面板的绑定区结构,其特征在于,还包括设于基板(100)上的第二绝缘层(400),所述导体层(200)设于第二绝缘层(400)上,所述第一绝缘层(300)设于导体层(200)及第二绝缘层(400)上。

3.如权利要求2所述的显示面板的绑定区结构,其特征在于,所述基板(100)为玻璃基板或玻璃基板与聚酰亚胺层的层叠结构;

所述第二绝缘层(400)的材料为氮化硅或氧化硅;

所述导体层(200)为钼层、两层钼层夹一层铝层、两层钛层夹一层铝层或两层氧化铟锡层夹一层银层;

所述第一绝缘层(300)的材料为光阻。

4.一种显示面板的绑定区结构的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:

步骤S1、提供一基板(100);

所述基板(100)上设有间隔设置的多个绑定接触区(110)、设于相邻的绑定接触区(110)之间的间隔区(120)以及设于多个绑定接触区(110)与间隔区(120)所在区域外侧的周边绝缘区(130);

步骤S2、在所述基板(100)上形成第二绝缘层(400);

步骤S3、在第二绝缘层(400)上形成导体材料并进行图案化,得到导体层(200);

所述导体层(200)包括多个间隔的绑定接触图案(210),所述多个绑定接触图案(210)分别与多个绑定接触区(110)对应;

步骤S4、提供一掩膜板(900);在所述导体层(200)及第二绝缘层(400)上涂布光阻层(301),利用所述掩膜板(900)对所述光阻层(301)进行曝光及显影,形成第一绝缘层(300);

所述第一绝缘层(300)对应多个绑定接触区(110)设有多个开口(310),所述第一绝缘层(300)对应间隔区(120)的部分的厚度小于对应周边绝缘区(130)的部分的厚度。

5.如权利要求4所述的显示面板的绑定区结构的制作方法,其特征在于,

所述步骤S2中,利用化学气相沉积的方式在所述基板(100)上形成第二绝缘层(400);

所述步骤S3中,利用物理气相沉积的方式在第二绝缘层(400)上形成导体材料。

6.如权利要求4所述的显示面板的绑定区结构的制作方法,其特征在于,所述光阻层(301)的材料为正性光阻;

所述掩膜板(900)包括:多个间隔的全透光区(910)、设于相邻的全透光区(910)之间的半透光区(920)以及设于全透光区(910)与半透光区(920)所在区域外侧的遮光区(930)。

7.如权利要求6所述的显示面板的绑定区结构的制作方法,其特征在于,所述半透光区(920)包括多个全透光子区(921)及除全透光子区(921)以外的遮光子区(922)。

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