[发明专利]用于在线测量微阵列的质量的方法

权利要求书

1.一种用于在线测量微阵列的质量的方法，其特征在于，包括：

提供固体基底，其中所述固体基底包括阵列排列的多个区域；

通过多个合成步骤将至少一个生物标记原位合成在所述多个区域中的至少一个区域上，其中在执行所述多个合成步骤中的至少一个合成步骤之后，立即通过原子力显微镜对所述至少一个生物标记的半成品执行检查步骤，以获得在线测量结果；以及

基于所述在线测量结果确定所述至少一个生物标记的所述半成品的质量。

2.根据权利要求1所述的用于在线测量微阵列的质量的方法，其中每执行一个所述合成步骤之后就执行一次所述检查步骤。

3.根据权利要求1所述的用于在线测量微阵列的质量的方法，其中每执行预定数目个所述合成步骤之后就执行一次所述检查步骤，所述预定数目大于1。

4.根据权利要求1所述的用于在线测量微阵列的质量的方法，其中所述固体基底具有硅烷化表面，并且将所述至少一个生物标记原位合成在所述硅烷化表面上。

5.根据权利要求1所述的用于在线测量微阵列的质量的方法，还包括在所述固体基底上形成质量监测标志，其中所述质量监测标志用作所述在线测量结果的对照物。

6.根据权利要求1所述的用于在线测量微阵列的质量的方法，还包括在所述固体基底上形成用于上下两层对准误差测量的迭加标记。

7.根据权利要求1所述的用于在线测量微阵列的质量的方法，其中所述在线测量结果包括所述至少一个生物标记的所述半成品的高度、表面形态、表面缺陷、粗糙度、粘着力和密度中的至少一个。

8.根据权利要求1所述的用于在线测量微阵列的质量的方法，其中所述在线测量结果包括所述至少一个生物标记的所述半成品的粘着力和所述固体基底的粘着力的比率。

9.根据权利要求1所述的用于在线测量微阵列的质量的方法，其中所述至少一个生物标记包括寡核苷酸。

10.根据权利要求9所述的用于在线测量微阵列的质量的方法，其中所述多个合成步骤包括多个核苷酸偶联步骤。

11.根据权利要求10所述的用于在线测量微阵列的质量的方法，其中所述多个合成步骤进一步包括多个光照步骤。

12.根据权利要求1所述的用于在线测量微阵列的质量的方法，其中所述固体基底的所述多个区域中的至少一个区域的尺寸介于次微米尺度到微米尺度之间。

13.根据权利要求1所述的用于在线测量微阵列的质量的方法，其中所述固体基底的所述多个区域中的至少一个区域的尺寸小于100微米。

14.根据权利要求1所述的用于在线测量微阵列的质量的方法，其中原位合成在所述多个区域中的至少一个区域上的所述至少一个生物标记包括至少一个种类的生物标记。

15.根据权利要求1所述的用于在线测量微阵列的质量的方法，在将至少一个生物标记原位合成在所述多个区域中的至少一个区域上之前，还包括通过所述原子力显微镜对所述固体基底的表面执行检查，以获得初始测量结果。

16.根据权利要求15所述的用于在线测量微阵列的质量的方法，其中所述初始测量结果包括所述表面的高度、表面形态、表面缺陷、粗糙度和粘着力中的至少一个。

17.根据权利要求15所述的用于在线测量微阵列的质量的方法，其中所述固体基底的所述表面为硅烷化表面。