[发明专利]部件搭载装置以及部件搭载方法

说明书

本发明提供部件搭载装置以及部件搭载方法。在通过使具备多个装配有吸嘴的吸嘴轴的旋转体以旋转轴为中心进行旋转、而使多个吸嘴轴朝包括部件保持及搭载工作台与部件检测工作台的多个工作台依次移动这一结构的部件搭载装置中，构成为在吸嘴轴的内侧配置有通过滑柱的移动而将吸嘴的吸引路选择性地与正压源和负压源连接的流路切换部，将驱动滑柱的动力用空气经由设置有与旋转体的表面接触的动力空气用连通插头的歧管而朝旋转体供给。

技术领域

本公开涉及利用负压保持部件并将该部件搭载于工件的规定的搭载位置的部件搭载装置以及部件搭载方法。

背景技术

在基板等工件搭载部件的部件搭载装置中，使用具备利用负压吸引并保持部件的吸嘴的搭载头。作为这样的搭载头，已知有将多个吸嘴绕头中心的轴旋转自如地配置的回转式的搭载头(例如参照日本特开2000-294990号公报、日本特开2013-069798号公报)。在该回转式的搭载头中，各吸嘴朝作为旋转动作中的停止位置而设定于搭载头的多个工作台依次移动。然后，在这些工作台中的为了保持来自部件供给部的部件以及朝工件搭载部件而设定的特定的部件保持及搭载工作台处进行升降动作。

在日本特开2000-294990号公报、日本特开2013-069798号公报所示的在先技术中，在多个吸嘴的每个都设置有用于利用吸嘴保持部件的真空吸引、用于使部件从吸嘴脱离的真空破坏以及用于正压赋予的切换阀装置。这些切换阀装置在搭载头中配置于吸嘴的外侧，进而，在搭载头的外侧与吸嘴进行升降动作的上述的部件保持及搭载工作台对应的位置，固定配置有驱动切换阀装置的驱动机构。通过这样的结构，在通过搭载头的旋转而吸嘴位于部件保持及搭载工作台的状态下，能够将吸嘴的状态切换成真空吸引、真空破坏以及正压赋予的任一个。

发明内容

本公开的部件搭载装置具备：多个吸嘴，朝多个吸嘴的吸引路导入负压而使多个吸嘴保持部件；多个吸嘴轴，其在下端部将所述多个吸嘴保持为更换自如，且具有与所述吸引路连通的内部流路；旋转体，其将所述多个吸嘴轴以等间距且升降自如的方式保持在以旋转轴为中心的圆周上，通过以旋转轴为中心进行旋转，使所述多个吸嘴朝多个工作台依次移动，该多个工作台包括供所述多个吸嘴进行保持部件或者将所保持的部件搭载于工件的规定的搭载位置的动作的部件保持及搭载工作台、以及进行由所述多个吸嘴保持的部件的检测的部件检测工作台；吸嘴升降机构，其在所述部件保持及搭载工作台处使所述多个吸嘴升降；部件检测部，其在所述部件检测工作台处对由所述多个吸嘴保持的部件进行检测；负压流路，其是形成于所述旋转体的内部的空气流路，与外部的负压源连通；正压流路，其是形成于所述旋转体的内部的空气流路，与外部的正压源连通；连接流路，其是形成于所述旋转体的内部的空气流路，与所述多个吸嘴轴各自的内部流路连通；流路切换部，其内置于所述旋转体，具有借助动力用空气而移动的滑柱，通过所述滑柱的移动使所述连接流路选择性地与所述负压流路和所述正压流路连通；第一先导流路以及第二先导流路，它们内置于所述旋转体，供给用于驱动所述流路切换部的滑柱的动力用空气；以及动力空气用连通插头，其与所述旋转体的表面接触，从外部将动力用空气朝所述第一先导流路以及所述第二先导流路供给。