[发明专利]测量系统及其测量方法

权利要求书

1.一种测量系统，包含：

一主控装置；以及

多个测量工作站，各自与该主控装置连接，且每个测量工作站各自对应一待测元件；

其中，该些测量工作站根据该主控装置的一指令而同时对所对应的该待测元件进行一共同项目测量程序，且该些测量工作站还依照所对应的该待测元件的需求而各自进行可调整测量项目的一特定项目测量程序，其中至少两个特定项目测量程序的部分进行期间会重叠；

其中，该共同项目量测程序定义为所有待测元件皆需测试的项目，该特定项目测量程序则根据每个待测元件的特性而调整其量测项目。

2.如权利要求1所述的测量系统，其中当该些待测元件的该共同项目测量程序及该特定项目测量程序完成后，该些测量工作站各自将一测量结果传送至该主控装置。

3.如权利要求1所述的测量系统，其中该些待测元件的该特定项目测量程序是在两个共同项目测量程序之间进行。

4.如权利要求1所述的测量系统，其中该共同项目测量程序或该特定项目测量程序包括一集成电路的信号反应期间与一实际测量期间。

5.如权利要求1所述的测量系统，其中该些测量工作站同步进行该特定项目测量程序。

6.如权利要求1所述的测量系统，其中当该些待测元件的该共同项目测量程序完成后，每个测量工作站还依照所对应的待测元件的该共同项目测量程序的测量结果来调整该待测元件的该特定项目测量程序。

7.如权利要求6所述的测量系统，其中当每个待测元件的该特定项目测量程序调整完后，该些待测元件各自接收对应其特定项目测量程序的一测量信号，并进入各自的信号反应期间，并于信号反应期间结束后进入各自的该特定项目测量程序；

其中，当其中一待测元件的信号反应出现异常时，其余待测元件持续进行所对应的信号反应期间，并于信号反应期间结束后进入各自的该特定项目测量程序。

8.一种测量方法，由一测量系统执行，其中该测量系统包括一主控装置及与该主控装置连接的多个测量工作站，其中每个测量工作站各自对应一待测元件，该测量方法包含以下步骤：

使每个测量工作站根据该主控装置的一指令而同时对所对应的该待测元件进行一共同项目测量程序；以及

使每个测量工作站依照所对应的该待测元件的需求而各自进行可调整测量项目的一特定项目测量程序，其中至少两个特定项目测量程序的部分进行期间会重叠；

其中，该共同项目量测程序定义为所有待测元件皆需测试的项目，该特定项目测量程序则根据每个待测元件的特性而调整其量测项目。

9.如权利要求8所述的测量方法，其中还包含步骤：

当该些待测元件的该共同项目测量程序及该特定项目测量程序完成后，藉由该些测量工作站将一测量结果传送至该主控装置。

10.如权利要求8所述的测量方法，其中该些待测元件的该特定项目测量程序是在两个共同项目测量程序之间进行。

11.如权利要求8所述的测量方法，其中该共同项目测量程序或该特定项目测量程序包括一集成电路的信号反应期间与一实际测量期间。

12.如权利要求11所述的测量方法，其中该些测量工作站同步进行该特定项目测量程序。

13.如权利要求8所述的测量方法，其中使每个测量工作站依照所对应的该待测元件的需求而各自进行可调整测量项目的一特定项目测量程序的步骤还包含子步骤：

当该些待测元件的该共同项目测量程序完成后，根据各待测元件的该共同项目测量程序的测量结果，分别调整各待测元件的该特定项目测量程序。

14.如权利要求13所述的测量方法，其中使每个测量工作站依照所对应的该待测元件的需求而各自进行可调整测量项目的一特定项目测量程序的步骤还包含子步骤：

当每个待测元件的该特定项目测量程序调整完后，使每个待测元件各自接收对应其特定项目测量程序的一测量信号，并进入各自的信号反应期间，并于信号反应期间结束后进入各自的该特定项目测量程序；

其中，当其中一待测元件的信号反应出现异常时，使其余待测元件持续进行所对应的信号反应期间，并于信号反应期间结束后进入各自的该特定项目测量程序。